[发明专利]集成电路晶圆级测试方法、半导体装置测试系统及其方法

权利要求书

1.一种晶圆级测试方法，其特征在于，包含：

提供一晶圆，该晶圆具有一集成电路形成于其上；

施加一信号使该集成电路作动，该信号包含多个增加步级或减少步级，且该些增加步级或减少步级的范围介于一第一位准和一第二位准间；以及

在施加该信号后，判定该集成电路是否遵守一测试准则。

2.根据权利要求1所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该些增加步级包含一步级电压或一步级电流，该步级电压是由一第一电压位准增加至一第二电压位准，该步级电流是由一第一电流位准增加至一第二电流位准，该些减少步级包含该步级电压或该步级电流，该步级电压是由该第二电压位准减少至该第一电压位准，该步级电流是由该第二电流位准减少至该第一电流位准。

3.根据权利要求2所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该步级电压或该步级电流对应于一阻尼震荡电压，该阻尼震荡电压用以与该集成电路的一等效射频电路耦接。

4.根据权利要求1所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该测试准则是一动态电压压力测试、一电力循环测试、一通路测试或一功能测试。

5.根据权利要求4所述的晶圆级测试方法，其特征在于，在该动态电压压力测试中，该第一电压位准为约0伏特，该第二电压位准为超出该集成电路的一正常操作电压，该第一电流位准为约0毫安，且该第二电流位准为超出该集成电路的一正常操作电流。

6.根据权利要求4所述的晶圆级测试方法，其特征在于，在该电力循环测试中，该第一电压位准为约0伏特，该第二电压位准约等于该集成电路的一正常操作电压，该第一电流位准为约0毫安，且该第二电流位准为超出该集成电路的一正常操作电流。

7.根据权利要求1所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该施加该信号包含施加该信号多个周期，以进行一第一测试，并在该第一测试后，另施加该信号多个周期，以进行一第二测试，借此判定该集成电路是否遵守该测试准则。

8.根据权利要求7所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该第二测试的周期数大于该第一测试的周期数。

9.根据权利要求1所述的晶圆级测试方法，其特征在于，该集成电路包含一电感性元件及一电容性元件。

10.一种半导体装置测试系统，其特征在于，包含：

一信号产生器，用以产生一信号，该信号包含多个增加步级或减少步级，且该些增加步级或减少步级的范围介于一第一位准和一第二位准间；

一耦合器，用以耦接该信号产生器及一集成电路，该集成电路形成于一晶圆上；以及

一模块，用以在该信号被施加于该集成电路后，判定该集成电路是否遵守一测试准则。

11.根据权利要求10所述的半导体装置测试系统，其特征在于，该些增加步级包含一步级电压或一步级电流，该步级电压是由一第一电压位准增加至一第二电压位准，该步级电流是由一第一电流位准增加至一第二电流位准，该些减少步级包含该步级电压或该步级电流，该步级电压是由该第二电压位准减少至该第一电压位准，该步级电流是由该第二电流位准减少至该第一电流位准。

12.根据权利要求11所述的半导体装置测试系统，其特征在于，该步级电压或该步级电流对应于一阻尼震荡电压，该阻尼震荡电压用以与该集成电路的一等效射频电路耦接。

13.根据权利要求10所述的半导体装置测试系统，其特征在于，该信号产生器用以产生该信号多个周期，以进行一第一测试；

其中，该信号产生器另产生该信号多个周期，以进行一第二测试；以及

其中，在该第一测试和该第二测试中，该模块判定该集成电路是否遵守该测试准则。

14.根据权利要求10所述的半导体装置测试系统，其特征在于，该测试准则是一动态电压压力测试、一电力循环测试、一通路测试或一功能测试。