[发明专利]具有侦测窗的研磨垫及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种研磨垫及其制造方法，且特别涉及一种具有侦测窗的研磨垫及其制造方法。

背景技术

随着产业的进步，平坦化制程经常被采用为生产各种元件的制程。在平坦化制程中，研磨制程经常被产业所使用。

一般来说，研磨制程是通过施加一压力于被研磨物件，以将其压置在研磨垫上，且物件及研磨垫彼此间具有一相对运动。通过相对运动所产生的机械摩擦，移除部分物件表层，而使其表面逐渐平坦，来达成平坦化的目的。此外，也可选择在研磨过程中，供应具有化学品混合物的研磨液或研磨浆于研磨垫上，在机械效应与化学效应共同作用下，达成平坦化物件表面。

对于具有光学侦测系统的研磨机台，研磨垫上某部分区域通常会设置有一透明侦测窗，其功能是当使用此研磨垫进行物件表层研磨时，使用者可通过机台的光学侦测系统，透过透明侦测窗来侦测物件表层的研磨情况，以作为研磨制程的终点侦测(End-Point Detection)。

现有的在研磨垫上制作侦测窗的方法为先制作出一研磨垫之后，利用机械切削的方式在研磨垫中裁切出一侦测窗开口。之后，再在上述所形成的侦测窗开口内灌入一侦测窗材料，并通过一固化程序以使侦测窗材料固化以形成一侦测窗。然而，此种方法需使用机械切削的方式在研磨垫中裁切出侦测窗开口，多增加一道切削工序，也增加生产研磨垫所需的工时。另外，由于此种方法需要额外的机械切削工具，因而也使得制造成本较高。

现有的另一种在研磨垫上制作侦测窗的方法为先完成一侦测窗的制作，之后将此侦测窗直接放置在一研磨垫模具内。接着，在模具内灌注一研磨垫材料，并通过一固化程序以使研磨垫材料固化，如此即可形成具有侦测窗的研磨垫。但是，此种方法所存在的问题是，研磨垫与侦测窗之间的接合强度(bonding strength)不足。换言之，以上述方法所形成的研磨垫，在较长时间的研磨过程中，液体容易自研磨垫和侦测窗的接缝渗漏至光学侦测系统，导致研磨终点侦测受到干扰，进而影响到物件的研磨品质。

发明内容

本发明提供一种具有侦测窗的研磨垫制造方法，其不需要机械切削程序来形成侦测窗开口。

本发明提供一种具有侦测窗的研磨垫，其侦测窗与研磨垫之间具有较佳的接合强度。

本发明提供一种具有侦测窗的研磨垫制造方法。首先包括预置一拟侦测窗在一模具内。接着，在模具中填入一研磨层前驱物并进行固化程序以形成一研磨层，其中拟侦测窗与研磨层两者之间可完全分离。之后，分离拟侦测窗与研磨层，以在该研磨层中形成一侦测窗开口。灌注一侦测窗前驱物在侦测窗开口中并进行固化程序以形成一侦测窗。

本发明还提供另一种具有侦测窗的研磨垫制造方法。首先提供一模具，此模具具有一凸起结构。接着，在模具中填入一研磨层前驱物并进行固化程序以形成一研磨层，其中凸起结构在研磨层中定义出一侦测窗开口。之后，灌注一侦测窗前驱物在该侦测窗开口中并进行固化程序以形成一侦测窗。

本发明还提供另一种具有侦测窗的研磨垫制造方法。首先提供一研磨层，此研磨层已预形成有一侦测窗开口。接着，在侦测窗开口中置入一侦测窗，其中侦测窗的周围侧面与侦测窗开口的内侧面间存有一间隙。之后，在间隙内灌注一缓冲层。

本发明提供一种具有侦测窗的研磨垫，其包括一研磨层、一侦测窗以及一缓冲层。研磨层具有一侦测窗开口。侦测窗位于侦测窗开口中，其中侦测窗的周围侧面与侦测窗开口的内侧面间存有一间隙，缓冲层填满于间隙。

本发明还提供另一种具有侦测窗的研磨垫，其包括一研磨层以及一侦测窗位于研磨层中，其中侦测窗与研磨层间具有一大于85kgf/cm²的弹性变化最大拉力强度。

基于上述，本发明的制造方法不需使用机械切削工具制作侦测窗开口，因此本发明的方法相较于现有的方法具有工序简单且制造成本低的优点。另外，相较于现有的方法，本发明的研磨垫，在研磨层与侦测窗之间具有较佳的接合强度。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1A至图1D是本发明一实施例的具有侦测窗的研磨垫制造方法的上视示意图；

图2A至图2D分别为对应图1A至图1D沿着剖面线I-I’的剖面示意图；

图3A至图3D是本发明一实施例的具有侦测窗的研磨垫制造方法的上视示意图；

图4A至图4D分别为对应图3A至图3D沿着剖面线II-II’的剖面示意图；

图5A至图5E是本发明一实施例的具有侦测窗的研磨垫制造方法的上视示意图；