[发明专利]触摸屏面板及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸屏面板，包括：

透明基板；

多个第一和第二感应图案，在所述透明基板的一侧上，所述第一感应图案沿第一方向彼此耦接，所述第二感应图案定位在所述第一感应图案之间，且包括彼此分隔的图案；

第一绝缘层，在所述第一和第二感应图案上，所述第一绝缘层具有多个接触孔，并且所述接触孔暴露部分的所述第二感应图案；以及

连接图案，在所述第一绝缘层上，所述连接图案通过所述接触孔将所述第二感应图案沿第二方向彼此耦接，

其中所述第一绝缘层由透明光致抗蚀剂形成。

2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述光致抗蚀剂包括有机光致抗蚀剂，该有机光致抗蚀剂包括丙烯基光致抗蚀剂、聚酰亚胺基光致抗蚀剂或硅氧烷基光致抗蚀剂中的至少之一。

3.如权利要求1所述的触摸屏面板，还包括在所述连接图案上的第二绝缘层。

4.如权利要求3所述的触摸屏面板，其中所述第二绝缘层由包括SiO₂、TiO₂或ZrO₂至少之一的透明绝缘材料形成。

5.如权利要求1所述的触摸屏面板，还包括在所述透明基板的另一侧上的透明接地电极。

6.如权利要求5所述的触摸屏面板，还包括在所述透明接地电极上的第三绝缘层。

7.如权利要求6所述的触摸屏面板，其中所述第三绝缘层由包括SiO₂、TiO₂或ZrO₂至少之一的透明绝缘材料形成。

8.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述第一和第二感应图案和所述连接图案由透明电极材料形成。

9.一种制造触摸屏面板的方法，所述方法包括：

在透明基板的一侧上形成透明电极层，然后图案化所述透明电极层，从而形成沿第一方向彼此耦接的多个第一感应图案和在所述第一感应图案之间的多个第二感应图案，所述第二感应图案包括彼此分隔的图案；

在所述第一和第二感应图案上形成透明光致抗蚀剂的第一绝缘层；

采用光刻工艺在所述第一绝缘层中形成多个接触孔，所述接触孔暴露部分的所述第二感应图案；以及

在所述第一绝缘层上形成连接图案，所述连接图案通过所述接触孔沿第二方向将所述第二感应图案彼此耦接。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述透明光致抗蚀剂包括有机光致抗蚀剂，该有机光致抗蚀剂包括丙烯基光致抗蚀剂、聚酰亚胺基光致抗蚀剂或硅氧烷基光致抗蚀剂中的至少一种。

11.如权利要求9所述的方法，还包括在所述连接图案上形成第二绝缘层。

12.如权利要求9所述的方法，还包括在所述透明电极的另一侧上形成透明接地电极。

13.如权利要求12所述的方法，还包括在所述透明接地电极上形成第三绝缘层。