[发明专利]三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法

权利要求书

1.一种三氯硅烷制造装置，具有：反应炉；原料供给机构，将作 为原材料的金属级的硅粉末供给到上述反应炉中；气体导入机构，将 氯化氢气体导入上述反应炉中，用于通过上述氯化氢气体使供给到反 应炉内的上述金属级的硅粉末流动并进行反应；以及气体取出机构， 从上述反应炉中取出通过上述反应而生成的三氯硅烷；其特征在于，

上述反应炉包括筒体部，连结在上述筒体部的下端的底部，以及 连结在上述筒体部的上端的大直径部；

在上述反应炉的中心部空间内沿着上下方向配置有多个棒状的气 体流控制部件；

在包围上述中心部空间的环状空间内沿着上下方向配置有传热介 质在其中流通的导热管；

在上述气体流控制部件的上侧部以及下侧部一体地形成有扩径 部；

在上述筒体部的下部以及上部固定有支撑上述气体流控制部件的 长度方向的中途位置的有孔引导部件，

通过上述气体流控制部件的上述扩径部载置在上述各有孔引导部 件的具有贯通孔的环部上，上述气体流控制部件以悬吊状支撑。

2.如权利要求1所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，构成上 述大直径部的一部分的筒状框体能够装卸地设置在上述筒体部，

上述导热管的上端部支撑在上述筒状框体上。

3.如权利要求2所述的三氯硅烷制造装置，其特征在于，在上述 反应炉的上述大直径部上设置有用于防止上述气体流控制部件上抬的 压架。

4.一种三氯硅烷制造方法，其特征在于，包括：

将导热管安装在筒状框体上的工序；

将上述筒状框体载置在筒体部上，在包围反应炉的中心部空间的 环状空间内沿着上下方向设置上述导热管的工序；

分别将有孔引导部件固定在上述筒体部的下部以及上部的工序；

在上述中心部空间内沿着上下方向设置多个气体流控制部件的工 序，该工序包括从上方一个一个地将棒状的气体流控制部件垂下，并 插入上述各有孔引导部件的环部的贯通孔中的工序，将上述气体流控 制部件的上侧的扩径部载置在上部的上述有孔引导部件的环部上而支 撑在悬吊状态的工序，将上述气体流控制部件的下侧的扩径部配置在 下部的上述有孔引导部件的环部上的工序；

传热介质在上述导热管中流通的工序；

向上述反应炉内供给金属级的硅粉末的工序；

从上述反应炉的下方供给氯化氢气体的工序；

通过氯化氢气体使上述金属级的硅粉末流动，使金属级的硅粉末 和氯化氢气体的上升流穿过上述气体流控制部件之间并使其进行反应 的工序；

从反应炉中取出含有通过上述反应而生成的三氯硅烷的气体的工 序。