[发明专利]光学元件和固态成像器件有效

专利信息
申请号: 201010003918.3 申请日: 2010-01-13
公开(公告)号: CN101794799A 公开(公告)日: 2010-08-04
发明(设计)人: 横川创造 申请(专利权)人: 索尼公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 柳春雷;南霆
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 光学 元件 固态 成像 器件
【权利要求书】:

1.一种用于固态成像器件的光学元件,包括:

第一过滤器,其具有使入射光中频率比第一截止频率低的成分透射的 功能;

第二过滤器,其具有使所述入射光中频率比第二截止频率高的成分透 射的功能;

光接收元件,其用于将所述入射光中透射所述第一过滤器和所述第二 过滤器的成分光电地转换;

其中,由导体薄膜组成的金属光学过滤器用作所述第一过滤器和所述 第二过滤器中的至少一者,

其中,所述第一过滤器和所述第二过滤器在所述入射光的入射方向上 堆叠。

2.一种固态成像器件,包括:

作为像素布置成矩阵的多个光学元件,每个所述光学元件都包括第一 过滤器、第二过滤器和光接收元件,其中,所述第一过滤器透射入射光中 频率比第一截止频率低的成分,所述第二过滤器透射所述入射光中频率比 第二截止频率高的成分,所述光接收元件用于将所述入射光中透射所述第 一过滤器和所述第二过滤器的成分光电地转换,由导体薄膜组成的金属光 学过滤器用作所述第一过滤器和所述第二过滤器中的至少一者,

其中,所述第一过滤器和所述第二过滤器在所述入射光的入射方向上 堆叠。

3.根据权利要求2所述的固态成像器件,其中,所述金属光学过滤器 具有包括由所述导体薄膜组成的金属栅格部分的结构,所述金属栅格部分 的间隙部分由介质填充,所述固体成像器件对所述介质透射的电磁波波长 具有灵敏度。

4.根据权利要求3所述的固态成像器件,其中,所述金属光学过滤器 中的所述金属部分和所述介质部分中的一者具有栅格或者蜂窝状分布结 构,另一者设置在所述一者中。

5.根据权利要求4所述的固态成像器件,其中,根据所述介质中的对 应于所述第一截止频率或所述第二截止频率的波长,来确定所述金属光学 过滤器中的所述栅格或者蜂窝状分布结构。

6.根据权利要求2所述的固态成像器件,其中,除了所述第一过滤器 和所述第二过滤器之外,每个所述光学元件还包括具有所述第一过滤器或 所述第二过滤器的功能的至少一个过滤器。

7.根据权利要求2所述的固态成像器件,其中,每个所述光学元件还 包括片上光收集元件,所述第一过滤器和所述第二过滤器设置在所述片上 光收集元件与所述光接收元件之间。

8.根据权利要求7所述的固态成像器件,其中,每个所述光学元件还 包括金属配线层,其设置在所述片上光收集元件与所述光接收元件之间, 所述第一过滤器和所述第二过滤器设置在所述金属配线层中。

9.根据权利要求8所述的固态成像器件,其中,当每个所述光学元件 设置在与所述金属配线层相同的层中时,通过与制造所述金属配线层的处 理相同的处理来安装所述光学元件。

10.根据权利要求2所述的固态成像器件,其中,在所述固态成像器 件的中央部分中,所述光收集元件的光轴与所述第一过滤器和所述第二过 滤器的光轴一致,而在与所述中心部分相隔一段距离的部分中,所述光接 收元件与所述第一过滤器和所述第二过滤器之间的位置关系根据所述部分 的所述距离而朝向所述中央部分偏移。

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