[发明专利]具备两个自由层的CPP型磁阻效应元件的检查方法

权利要求书

1.一种磁阻效应元件的检查方法，该磁阻效应元件具有磁 阻效应部，所述磁阻效应部具有非磁性中间层、以夹持该非磁性 中间层的方式层叠形成并且发挥自由层功能的第一强磁性层以 及发挥自由层功能的第二强磁性层，并且，该磁阻效应元件是在 该磁阻效应部的层叠方向上施加检测电流而成的CPP结构，在 所述磁阻效应部的与作为介质对置面的气垫面垂直的Y方向的 后部，形成有对第一强磁性层以及第二强磁性层的磁化方向的实 质性正交作用施加影响的正交偏置功能部，该检查方法的特征在 于，

使所述正交偏置功能部的磁化方向分别变更为由元件的前 方朝向后方的第一磁化形成方式以及由元件后方朝向前方的第 二磁化形成方式，按照每个磁化形成方式分别测定元件针对外部 磁场的输出波形，并对照这二者的输出波形的状态，由此，检查 发挥自由层功能的第一强磁性层以及第二强磁性层的磁化方向 是否在所述正交偏置功能部发挥作用前的状态下成为沿着磁道 宽度方向的反平行状态；

其中，将Y方向上靠近气垫面的一侧标记为“元件的前方”， 其相反侧标记为“元件的后方”。

2.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

分别对照所述二者的输出波形的非对称性，由此，检查发挥 自由层功能的第一强磁性层以及第二强磁性层的磁化方向是否 在所述正交偏置功能部发挥作用前的状态下成为沿着磁道宽度 方向的反平行状态。

3.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

同时描绘所述二者的输出波形的图表并进行一体化，判断一 体化后的图表是否具有以施加磁场O的纵轴为基准的对称关系， 即，是否得到镜像关系，由此，检查发挥自由层功能的第一强磁 性层以及第二强磁性层的磁化方向是否在所述正交偏置功能部 发挥作用前的状态下成为沿着磁道宽度方向的反平行状态。

4.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

将从呈矩阵状配置形成在晶圆基板上的磁阻效应元件组之 中选定的特定的多个磁阻效应元件作为检查对象，保持在晶圆工 艺完成状态进行检查。

5.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

将呈矩阵状配置形成在晶圆基板上的磁阻效应元件组切分 为多个条状态，将从存在于被切分后的条中的磁阻效应元件组之 中选定的特定的多个磁阻效应元件作为检查对象，保持在被切分 后的条状态进行检查。

6.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

在包含一个磁阻效应元件的滑块状态下进行检查。

7.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

在磁头万向节组件的状态下进行检查，该磁头万向节组件包 括：包含一个磁阻效应元件的滑块、和弹性地支承该滑块的悬架。

8.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

从所述元件的前方向后方的第一磁化形成方式以该被着磁 后的磁化方向从介质对置面即ABS朝向元件的内侧即后方的方 式构成，从所述元件的后方向前方的第二磁化形成方式以被着磁 后的磁化方向从元件的内侧即后方朝向介质对置面即ABS的方 式构成。

9.如权利要求8所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

从所述元件的前方向后方的第一磁化形成方式以及从所述 元件的后方向前方的第二磁化形成方式中的磁化方向是与介质 对置面即ABS垂直的方向。

10.如权利要求1所述的磁阻效应元件的检查方法，其中，

发挥自由层功能的第一强磁性层以及发挥自由层功能的第 二强磁性层隔着非磁性中间层以二者的磁化方向彼此成为反平 行状态的方式进行交换耦合。