[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，其具有：

由LiNbO₃构成的压电体；

层叠在所述压电体上的电介体层；

设置于所述压电体和所述电介体的界面的IDT电极，

在所述LiNbO₃基板的欧拉角(，θ，ψ)中，

以及θ分别为及80°≤θ≤130°，且使用以SH波为主成分的弹性波，

其中，ψ处于5°≤ψ≤30°的范围内。

2.如权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述电介体层为SiO₂层，还设有层叠在所述SiO₂层上的、音速比SiO₂层高的第二电介体层，且作为弹性波使用SH型弹性界面波。

3.如权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述LiNbO₃的欧拉角θ处于105°≤θ≤120°的范围内。

4.如权利要求2或3所述的弹性波装置，其中，

所述第二电介体层是从由硅、氮化硅、氧化铝、氮化铝、氮氧化硅以及类金刚石碳构成的组中选择的至少一种，且由较慢的横波音速为5000m/秒以上的电介体材料构成。

5.如权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述电介体层为SiO₂层，且作为所述弹性波利用SH型弹性表面波。

6.如权利要求5所述的弹性波装置，其中，

所述LiNbO₃的欧拉角θ处于80°≤θ≤90°的范围内。

7.如权利要求5或6所述的弹性波装置，其中，

还具有层叠在所述SiO₂层上的第二电介体层。

8.如权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极以电极膜或者层叠结构为主体，

所述电极膜是从由Au、Ag、Cu、Pt、Ta、W、Ni、Fe、Cr、Mo、Ti及以这些金属中的一种为主成分的合金构成的组中选择的一种金属所构成的电极膜，

所述层叠结构是将由与构成所述电极膜的金属不同的金属所构成的第二电极膜和所述电极膜层叠而成的层叠结构。

9.如权利要求8所述的弹性波装置，其中，

所述层叠结构包含多个各自由Pt或Al或者以这些金属为主成分的合金构成的电极膜。