[发明专利]硅酸镓镧系列晶体高温零温度补偿切型及应用有效

专利信息
申请号: 201010011815.1 申请日: 2010-01-07
公开(公告)号: CN101775657A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 于法鹏;袁多荣;张树君;潘立虎;尹鑫;郭世义;段秀兰;赵显 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: C30B29/34 分类号: C30B29/34;G01D3/036
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 赵会祥
地址: 250100山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 硅酸 系列 晶体 高温 温度 补偿 应用
【权利要求书】:

1.硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于32点群的硅酸镓镧系列晶体,正的d11的 方向取为x的正方向,y、z方向根据右手螺旋法则确定;晶体厚度方向为Y,长度方向为X, 以X方向按右手螺旋法则旋转α角度,记为YXltw(α),-90°<α<+20°,+α为逆时针旋转,-α 为顺时针旋转;切型尺寸比例为厚度∶宽度∶长度=0.2~2∶6~12∶6~12。

2.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,所述切型样品尺寸比例为 厚度∶宽度∶长度=1.5∶9∶9。

3.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于硅酸镓镧晶体(LGS), 旋转角度-10°<α<+20°。

4.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于铌酸镓镧晶体(LGN), 旋转角度-10°<α<+20°。

5.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于钽酸镓镧(LGT)晶 体,旋转角度-30°<α<+10°。

6.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于Ca3TaGa3Si2O14(CTGS) 或Ca3NbGa3Si2O14(CNGS)晶体,旋转角度-40°<α<0°。

7.如权利要求1所述的硅酸镓镧系列晶体切型,其特征在于,对于Sr3TaGa3Si2O14(STGS) 或Sr3NbGa3Si2O14(SNGS)晶体,旋转角度-90°<α<-30°。

8.权利要求1~7任一项所述的硅酸镓镧系列晶体零温度补偿切型的应用,用于高温传 感器中作为频率器件,在硅酸镓镧系列晶体零温度补偿切型厚度方向上镀铂金电极,电极厚 度为200-220nm。

9.如权利要求8所述的硅酸镓镧系列晶体零温度补偿切型的应用,其特征在于,硅酸镓 镧系列晶体的使用温度范围如下:LGS、LGN或LGT使用温度小于600℃;CTGS、CNGS、STGS、 SNGS、CNAS或CTAS使用温度小于900℃。

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