[发明专利]一种氧化锌薄膜的制备方法及应用无效
| 申请号： | 201010011816.6 | 申请日： | 2010-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN102115027A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 曹丙强;刘宗明;赵蔚琳;段广彬;魏浩铭 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82B3/00;H01J31/12;H01J29/04;H01J9/02;H01L31/09;H01L31/0224;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 辛向东 |
| 地址： | 250022 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种氧化锌薄膜材料，其特征在于：其结构为垂直于衬底的二维纳米壁连接而成的多孔结构。
2.如权利要求1所述的氧化锌薄膜材料，其特征在于：通过高压脉冲激光烧蚀方法生长，其工艺条件为：石英管形状为十字形型，生长腔内压力是20mbar-40mbar，生长温度为850-1050℃，载气为氩气，流量为25SCCM-40SCCM，激光的工作条件为：248nm，频率为10-20Hz，能量密度为1-5J/cm2，衬底和靶材间距为5mm～20mm，衬底为抛光的c趋向蓝宝石衬底。
3.由权利要求2所述的氧化锌薄膜材料所制得的原理性器件，其特征在于：其同时具备场发射功能和紫外光探测功能。
4.如权利要求2或3所述的氧化锌薄膜材料所制得的原理性器件，其特征在于：可以用来制备同时具备场发射功能和紫外光探测功能的场发射显示仪和光探测管。
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