[发明专利]一种用于表征铁电薄膜光电流的测量方法

权利要求书

1.一种用于表征铁电薄膜光电流的测量方法，其特征在于：包括下列步 骤：

(1)在铁电薄膜上分别设置上电极和下电极，构成金属/薄膜/金属电容器结 构；

(2)在上述电容器结构上施加外加电场，以极化薄膜；

(3)撤除外加电场，用光源从薄膜上方照射样品表面，采集记录稳定的光电 流的大小；

(4)重复步骤(2)和(3)，分别记录在不同的极化电压下的光电流大小；

(5)以极化电压为横坐标，对应的光电流为纵坐标，将记录的光电流绘制成 光电流回线；

(6)光电流回线的纵向对称中心处的电流值用PC0表示，如果PC0为正， 则下界面肖特基势垒大于上界面肖特基势垒，如果PC0为负，则上界面肖特 基势垒大于下界面肖特基势垒，如果PC0等于零，则上下界面肖特基势垒是 对称的；

所述步骤(4)中，不同的极化电压的施加次序为，由正向最大值逐渐减小至 反向最大值，再逐渐增大至正向最大值。

2.根据权利要求1所述的用于表征铁电薄膜光电流的测量方法，其特征 在于：所述步骤(3)中，每次测量等待光电流稳定的时间相同。