[发明专利]硅料专用烘箱无效
申请号: | 201010018234.0 | 申请日: | 2010-01-20 |
公开(公告)号: | CN101749929A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 蒋新民 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | F26B9/06 | 分类号: | F26B9/06;F26B3/02;F26B21/00;F26B25/22 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
地址: | 213200 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 专用 烘箱 | ||
技术领域:
本发明涉及半导体材料干燥技术领域,尤其涉及硅料烘干设备。
背景技术:
随着半导体和太阳能行业的不断发展壮大,硅料的需求量越来越大。硅料的纯度对最终产品的质量至关重要,有些硅料表面附带有很多杂质,对之必须用酸洗的方法将表面杂质去除,然后再进行清洗。清洗过的硅料在投炉前须经过烘干处理,以去除附着在硅料上的水份。常规的方法是将硅料用周转箱分装好后,以叠加方式装入普通烘箱中,加热器设置在料箱的下方,通电加热进行烘干处理,采用常规的烘箱进行烘干,位于底层的硅料很快就烘干,而位于中上层的硅料则不易烘干,同时烘箱内的水汽不易排出,炉体内的温度不易控制,烘箱内硅料的受热不均匀,烘干效率低,能耗高。
发明内容:
为了解决硅棒生产过程中硅料的烘干问题,本发明提供了一种硅料专用烘箱。采用这种结构的硅料专用烘箱,各处硅料的受热均匀,水汽排出畅通,加热温度可控,烘干效率高。
本发明所采用的技术方案是:
本发明所述硅料专用烘箱,包括保温壳体、内胆、通热风道、加热器、循环风机、抽湿风机、排湿管、湿度传感器和温度传感器,内胆置于保温壳体内,在内胆的顶部设有高温气腔,高温气腔由内胆的顶部与保温壳体的内腔顶部围合成,高温气腔通过透气孔与内胆的内腔相通;所述通热风道由保温壳体的内腔与内胆围合而成,加热器设置在通热风道内,通热风道通过透气孔与内胆的内腔相通;在高温气腔与通热风道之间装有循环风机,抽湿风机安装在保温壳体的顶部,抽湿风机的吸风口与内胆的内腔相通;在内胆的内腔中设有温度传感器和湿度传感器,加热器由温度传感器控制,湿度传感器控制整个烘箱。
进一步,所述通热风道由左风道、右风道、后风道和下风道组成,在左风道、右风道、后风道和下风道中都设有加热器,抽湿风机通过排湿管与内胆的内腔相通。
由于在烘箱内设置了高温气腔和通热风道,加热器均匀地分布在通热风道中,在内胆的五个内侧面上均匀地开设了透气孔,在高温气腔和通热风道之间设有循环风机,循环风机能迫使通热风道的热气从内胆的侧面透气孔中进入内胆内,充分与放置在物料架上的硅料接触,附着在硅料上的水份被加热汽化成水汽,由置于烘箱顶部的抽湿风机从排湿风道将内胆中的水汽抽出,从而实现对清洗硅料的烘干。在烘干过程中,由于在内胆内设置了湿度传感器和温度传感器,加热器由温度传感器控制,当烘箱内的温度低于预设温度时,温度传感器即发出电信号,控制加热器加热,反之则自动关闭加热器;当烘箱内的湿度低于预定湿度时,说明硅料烘干已达到要求,湿度传感器即发出电信号,自动关闭烘箱,反之烘箱则会正常烘干。这种硅料专用烘箱克服了现有普通烘箱存在的缺点,循环风机的设置,使得烘箱内部的热气流能形成回流,便于热气流与置于物料架上的硅料充分接触,抽湿风机的设置不仅能及时将烘箱内的水汽抽出,而且能使烘箱内形成适度真空,有利于降低水份汽化温度,加速烘干速度,节能效果明显。温度传感器和湿度传感器的设立实现了硅料烘箱的自动化控制。这种硅料专用烘箱结构设计简单、热气运行路径畅通,更利于硅料加热烘干,且能自动化控制,不仅烘干效率高,而且能大幅度降低能耗和人力成本。
附图说明:
图1、图2为本发明的结构示意图;图2为图1中A-A剖视图。
图中:1-保温壳体;2-内胆;3-通热风道;4-加热器;5-循环风机;6-抽湿风机;7-排湿管;8-湿度传感器;9-温度传感器;10-高温气腔;11-物料架;12-硅料;13-透气孔;31-左风道;32-右风道;33-后风道;34-下风道。
具体实施方式:
如附图1、图2所示,本发明所述硅料专用烘箱,包括保温壳体1、内胆2、通热风道3、加热器4、循环风机5、抽湿风机6、排湿管7、湿度传感器8和温度传感器9、高温气腔10、物料架11、硅料12,内胆2置于保温壳体1内,在内胆2的顶部设有高温气腔10,高温气腔10由内胆2的顶部与保温壳体1内腔的顶部围合成,保温壳体1的内腔与内胆2的侧面之间形成通热风道3,通热风道3由相互通连的左风道31、右风道32、后风道33和下风道34组成,在左风道31、右风道32、后风道33和下风道34中均设有加热器4,两只循环风机5安装在高温气腔10与通热风道3之间,循环风机5的进风口与高温气腔10相通,出风口与通热风道3相通;抽湿风机6安装在保温壳体1的顶部,且位于两只循环风机5之间,抽湿风机6通过排湿管7与内胆2的内腔相通;在内胆2的所有侧面上均匀地设有透气孔13;物料架11放置在内胆2内,硅料12均匀地存放在物料架11上,在物料架11上安装有温度传感器9,湿度传感器8设置在内胆2的内腔顶部,在烘干过程中加热器4由温度传感器9控制开启或关闭,当烘箱内的湿度低于预定值时,湿度传感器8则自动关闭整个烘箱。
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