[发明专利]用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统无效
申请号: | 201010019431.4 | 申请日: | 2010-01-15 |
公开(公告)号: | CN101788790A | 公开(公告)日: | 2010-07-28 |
发明(设计)人: | 王彪;林少鹏;李一伦;周子凡 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | G05B15/02 | 分类号: | G05B15/02;G05B11/42;G05B9/02 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 禹小明 |
地址: | 510275 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 自动化 光电 晶体 提拉炉 pc 控制系统 | ||
1.一种用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,包括执行模块及通过智能PID算法控制执行模块的控制模块,该执行模块包括控制炉体温度的温度控制模块、控制晶体提拉速度的晶体提拉模块、控制晶体旋转速度的晶体旋转模块及对炉体内剩余晶体重量作监控的监控模块,该控制模块还连接有人机界面模块,该控制模块通过内置的扫描单元实时扫描各个执行模块的执行情况,并通过内置的信息记录单元自动记录执行信息,将执行信息传送至人机界面模块,该人机界面模块包括按照实验日期进行排列、并提供图形化查询的查看界面。
2.根据权利要求1所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该控制模块通过总线和通信协议与各个执行模块相连接。
3.根据权利要求2所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,各个执行模块均设有一用于控制与维护本模块的控制单元,且控制单元与控制模块通过总线交互数据。
4.根据权利要求3所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该晶体旋转模块还包括旋转电机及其驱动电路,该晶体旋转模块的控制单元通过驱动电路控制旋转电机,并扫描旋转电机的反馈电压信号,当控制单元检测到实际转速与预设值不同时,则将旋转电机转速调整至预设值内。
5.根据权利要求3所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该晶体提拉模块还包括提拉电机及其用于驱动提拉电机的驱动电路,晶体提拉模块的控制单元中设有用于监控提拉电机位移的光栅尺,当控制单元检测到实际提拉速度与预设值不同时,则将提拉电机速度调整至预设值内。
6.根据权利要求1所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该温度控制模块包括对炉体进行非接触式加热的中频线圈及连接至中频线圈的中频电源;该监控模块包括设于炉体下方用于称量炉体内晶体重量的电子秤及与电子秤连接的单片机驱动电路,该炉体设于抵压在设于电子秤上的绝热支架上。
7.根据权利要求1所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该控制模块还包括用于积累晶体生长的经验的历史数据记录单元及用于查询历史数据的查询单元。
8.根据权利要求7所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该控制系统还连接用于查询系统每一个重要参数的安全监控模块,且其通过可视界面显示错误信息,并将错误信息存入历史数据记录单元。
9.根据权利要求1所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该控制模块对采集到的各类信号进行分析和控制,采用智能PID算法,实现晶体的自动放肩过程和自动等径生长。
10.根据权利要求1所述的用于自动化光电晶体提拉炉的PC机控制系统,其特征在于,该人机界面模块能通过设定晶体生长的物理参数,完成晶体自动化生长流程。
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