[发明专利]传递工件进出真空制程腔的装置及方法

权利要求书

1.一种传递工件进出真空制程腔的装置，其包括：

一设于大气环境中的工件堆放区，用于堆放待加工的及加工完毕的工件；

一设于该真空制程腔中的工件支架，用于固定工件以对工件进行加工；

其特征在于，该装置还包括：

设于大气环境与该真空制程腔之间的一第一进件腔和一第二进件腔，该第一和第二进件腔可以在大气状态与真空状态之间切换；

一设于该真空制程腔中的第一机械手臂，用于将该第一或第二进件腔中的待加工工件传递至该工件支架进行加工，并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第一或第二进件腔；

一设于大气环境中的第三机械手臂，用于将待加工工件从该工件堆放区传递至该第一或第二进件腔，并将加工完毕的工件从该第一或第二进件腔传递回该工件堆放区。

2.如权利要求1所述的传递工件进出真空制程腔的装置，其特征在于，该装置还包括：

一设于该真空制程腔中的第二机械手臂；

一设于该真空制程腔中的缓冲台，该缓冲台位于该第一和第二进件腔与该工件支架之间，并且位于该第一与第二机械手臂之间；

其中，该第一机械手臂用于将待加工工件从该第一进件腔传递至该缓冲台、并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第一进件腔，同时该第二机械手臂用于将待加工工件从该缓冲台传递至该工件支架进行加工；或者，该第二机械手臂用于将待加工工件从该第二进件腔传递至该缓冲台、并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第二进件腔，同时该第一机械手臂用于将待加工工件从该缓冲台传递至该工件支架进行加工。

3.如权利要求1或2所述的传递工件进出真空制程腔的装置，其特征在于，该装置还包括一设于大气环境中的校准仪，用于校准工件的位置和角度，其中该第三机械手臂在将待加工工件从该工件堆放区传递至该第一或第二进件腔的过程中将待加工工件送至该校准仪进行校准。

4.一种利用权利要求1所述的装置实现的传递工件进出真空制程腔的方法，其特征在于，其包括以下步骤：

S₁、该第三机械手臂从该工件堆放区取预设数量的待加工工件，送入切换至大气状态的该第一进件腔；

S₂、该第一进件腔切换至真空状态，然后该第一进件腔中的该些工件逐个地由该第一机械手臂传递至该工件支架进行加工、加工完毕后再由该第一机械手臂将其从该工件支架传递回该第一进件腔；与此同时，该第三机械手臂从该工件堆放区取预设数量的待加工工件，送入切换至大气状态的该第二进件腔，然后该第二进件腔切换至真空状态；

S₃、该第二进件腔中的该些工件逐个地由该第一机械手臂传递至该工件支架进行加工、加工完毕后再由该第一机械手臂将其从该工件支架传递回该第二进件腔；与此同时，该第一进件腔切换至大气状态，该第三机械手臂将该第一进件腔中的该些加工完毕的工件传递回该工件堆放区，然后从该工件堆放区取预设数量的待加工工件，送入该第一进件腔，然后该第一进件腔切换至真空状态；

S₄、该第一进件腔中的该些工件逐个地由该第一机械手臂传递至该工件支架进行加工、加工完毕后再由该第一机械手臂将其从该工件支架传递回该第一进件腔；与此同时，该第二进件腔切换至大气状态，该第三机械手臂将该第二进件腔中的该些加工完毕的工件传递回该工件堆放区，并从该工件堆放区取预设数量的待加工工件，送入该第二进件腔，然后该第二进件腔切换至真空状态；

S₅、重复执行步骤S₃、S₄，直至所有的待加工工件都加工完毕。

5.如权利要求4所述的传递工件进出真空制程腔的方法，其特征在于，该第三机械手臂在将待加工工件从该工件堆放区取出后，先传递至一设于大气环境中的校准仪校准工件的位置和角度，然后再传递至该第一或第二进件腔。