[发明专利]一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔

权利要求书

1.一种外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，包括密闭的石英反应腔体、衬底托盘、惰性保护气体喷头、反应气体喷头和加热体，其特征在于，

a.所述石英反应腔体为双层结构，外层是石英保护腔外筒，内层是石英反应腔内筒，所述衬底托盘安装在反应腔内筒腔内；

b.所述反应腔外筒和石英腔内筒之间、衬底托盘的上、下方设置热反射隔层和绝热材料；

c.所述加热体呈环状套在反应腔外筒的外侧，加热体安装在具有升降机构的基座上，沿反应腔外筒上下移动；

d.所述衬底托盘摆放待加工基片，衬底托盘由旋转轴支撑，并通过旋转轴与衬底托盘旋转机构联接。

2.按权利要求1所述的外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其特征在于，所述的保护腔外筒呈筒状，上下端采用不锈钢法兰密闭，并配以水冷装置。

3.按权利要求1所述的外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其特征在于，所述的保护腔外筒内置惰性保护气体喷头。

4.按权利要求1所述的外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其特征在于，所述的反应腔内筒分为上下两部分，呈喇叭状相向对扣，通过磨砂口嵌套连接，将衬底托盘包含其中。

5.按权利要求4所述的外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其特征在于，所述的反应腔内筒喇叭口部分直径比衬底托盘直径大，其它部分的腔体为细管。

6.按权利要求5所述的外加热方式的金属有机化学气相沉积系统反应腔，其特征在于，所述的反应腔内筒的上部细管内套一根管道，内外管道均开口向下，正对其下方的衬底托盘，所述内外管道分别与两种反应气体入口相通；反应腔内筒的下部细管内套衬底托盘的旋转轴，并与排气口相通。