[发明专利]一种太赫兹成像系统的探测装置

权利要求书

1.一种太赫兹成像系统的探测装置，其是用微机电系统工艺制备的可单片集成的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该太赫兹成像系统的探测装置的像素单元由H面扇形喇叭天线阵列组成，天线阵列的基本单元是一种喇叭天线，这种喇叭天线是由波导喇叭体和与之制成一体的矩形波导馈线两部分组成，所述矩形波导馈线用于传输接收的太赫兹信号，波导喇叭体用于接收太赫兹信号。

2.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该太赫兹喇叭天线由波导喇叭体和与之制成一体的矩形波导馈线两部分组成，其中波导喇叭体由矩形波导沿宽边逐渐展开而成，而波导的窄边长度则保持不变，是一个金属做的空心角锥型喇叭，该波导喇叭体利用微机电系统工艺的纳米尺度应力引入技术调整金属片的形状生成。

3.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该太赫兹喇叭天线的波导喇叭体的宽面为垂直于矩形波导馈线截面的等腰梯形，与矩形波导馈线相连的边为梯形的短边；波导喇叭体的窄面为平行于梯形的腰的矩形。

4.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该太赫兹喇叭天线的矩形波导馈线由空心的矩形金属管构成，是一段金属矩形波导，该矩形波导馈线利用微机电系统工艺在衬底上刻蚀出穿透衬底的矩形空腔，并在腔壁镀金属生成。

5.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该像素单元是由所述的喇叭天线组成的天线阵列以提高增益。

6.根据权利要求1所述的的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该装置是由根据成像系统要求的m×n像素单元阵列组成。

7.根据权利要求1所述的太赫兹成像系统的探测装置，其特征在于，该装置是利用微机电系统工艺制作在基片上的，所述波导喇叭体制作在基片的正面，所述矩形波导馈线制作在基片的内部，探测装置通过波导喇叭体接收到太赫兹信号，通过矩形波导馈线传输太赫兹信号，接收到的太赫兹信号通过基片背面的矩形波导端口进入成像系统。