[发明专利]一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法

权利要求书

1.一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

上载基底到工件台上，保持工件台Y轴方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿着X方向以步长d运动到不同位置(x_i，y_cons)，由干涉仪读取得到每个不同位置下工件台的倾斜值Rx_IFM，meas(x_i)，所述倾斜值Rx_IFM，meas(x_i)包括工件台的真实倾斜值和长条镜Y方向面形在该位置下引起的倾斜值，计算得到长条镜Y方向面形引起的不同位置处的倾斜值XRX(x_i)，其中，x_i表示工件台在X方向的坐标，y_cons表示工件台在Y方向的坐标；

保持工件台X轴方向的坐标不变，干涉仪控制工件台沿着Y方向以步长d运动到不同位置(x_cons，y_i)，由干涉仪读取得到每个不同位置下的倾斜值Ry_IFM，meas(y_i)，所述倾斜值Ry_IFM，meas(y_i)包括工件台的真实倾斜值和长条镜X方向面形在该位置下引起的倾斜值，计算得到长条镜X方向面形引起的不同位置处的倾斜值YRY(y_i)，其中，x_cons表示工件台在X方向的坐标，y_i表示工件台在Y方向的坐标；

在工件台对应位置(x_i，y_i)处，干涉仪控制工件台位置的倾斜值时，补偿上述得到的长条镜Y方向面形引起的倾斜值XRX(x_i)和X方向面形引起的倾斜值YRY(y_i)，即可消除由长条镜面形引起的倾斜误差，得到实际工件台倾斜值。

2.如权利要求1所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述干涉仪控制工件台运动到不同位置后都需先进行调焦调平，再由干涉仪读取得到每个不同位置下工件台的倾斜值。

3.如权利要求2所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述的x_cons和y_cons为恒定值，取值范围为基底上可进行调焦调平的最大范围。

4.如权利要求2所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述的x_i和y_i的范围为基底上可进行调焦调平的最大范围。

5.如权利要求2所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述的由工件台位置x_i和干涉仪读取到的Rx_IFM，meas(x_i)值计算得到长条镜Y方向面形在不同位置处引起的倾斜值的公式为：

其中，Rx_IFM，meas(x_i)为不同x_i处，调焦调平后由干涉仪读取得到的当前状态下的倾斜值，为所有测量点处测量值Rx_IFM，meas(x_i)的平均值。

6.如权利要求5所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述的由工件台位置y_i和干涉仪读取到的Ry_IFM,meas(y_i)值计算得到长条镜X方向面形在不同位置处引起的倾斜值的公式为：

其中，Ry_IFM，meas(y_i)为不同y_i处，调焦调平后由干涉仪读取得到的当前状态下的倾斜值，为所有测量点处测量值Ry_IFM，meas(y_i)的平均值。

7.如权利要求6所述的一种消除长条镜面形引起的倾斜误差的方法，其特征在于，所述的在对应位置(x_i，y_i)处，干涉仪补偿长条镜面形引起的倾斜值得到实际工件台倾斜值Rx_实际(x_i)及Ry_实际(y_i)的补偿公式如下：

Rx_IFM，meas(x_i)+[-XRX(x_i)]＝Rx_实际(x_i)；

Ry_IFM，meas(y_i)+[-YRY(y_i)]＝Ry_实际(y_i)。