[发明专利]一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法

权利要求书

1.一种化学机械抛光液回收和重复利用的方法，包括下列步骤：

1)将已使用过的抛光液经过滤膜过滤后收集滤液，过滤膜的孔径根据抛光液中的 磨料粒径确认，选择比磨料平均粒径大的过滤膜，孔径范围在20nm-120nm，本 步骤根据需要在过滤前先用水稀释使用过的抛光液，以使抛光液中的磨料固含 量在1％-10％的范围内；

2)将滤液过阳离子交换树脂后，收集流出液；

3)将步骤2获得的流出液再过阴离子交换树脂，收集流出液；

4)将步骤3获得的流出液作为原料用于配制新的化学机械抛光液，或者将步骤3 获得的流出液浓缩后作为原料用于配制新的化学机械抛光液。

2.如权利要求1所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述步骤2) 中，阳离子交换树脂为磺酸型树脂；所述步骤3)中，阴离子交换树脂为季胺型树脂。

3.如权利要求1所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述步骤2) 中，滤液一次或反复多次经过阳离子交换树脂；所述步骤3)中，步骤2)获得的流出 液一次或反复多次经过阴离子交换树脂。

4.如权利要求1所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述步骤4) 的流出液的浓缩方法为超滤膜浓缩。

5.如权利要求1-4任一所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述阳 离子交换树脂的出口安装离子选择电极，检测离子含量，通过电位差方法检测流出液阳 离子的浓度。

6.如权利要求5所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述阴离子交 换树脂的出口安装离子选择电极，检测离子含量，通过电位差方法检测流出液阴离子的 浓度。

7.如权利要求1-4任一所述化学机械抛光液回收和重复利用的方法，其特征在于，所述阴 离子交换树脂的出口安装离子选择电极，检测离子含量，通过电位差方法检测流出液阴 离子的浓度。