[发明专利]光纤非本征法布里-珀罗干涉超声传感检测装置

权利要求书

1.一种光纤非本征法布里-珀罗干涉超声传感检测装置，包括光源(1)，其特征在于所述光 源(1)连接一个光纤环形器(2)，所述光纤环形器(2)的一个接口连接一个光纤法布 里-珀罗超声传感器(3)，另一个接口经一个光电转换模块(4)和一个信号放大模块(5) 连接一个示波器(6)，一个信号发生器(9)连接一个压电换能器(7)，该压电换能器产 生超声波信号(8)，传输给所述法布里-珀罗超声传感器(3)；所述光源(1)为1550nm 光源，光纤环形器(2)为1550nm光纤环形器；所述1550nm光源(1)发出的光经过所 述1550nm光纤环形器(2)导入到所述光纤法布里-珀罗超声传感器(3)；所述信号发生 器(9)作用于所述压电换能器(7)产生超声波信号(8)，并在空气中传输到达所述光 纤法布里-珀罗超声传感器(3)；所述光纤法布里-珀罗超声传感器(3)将接收到的所述 超声波信号(8)通过所述光电转换模块(4)、所述信号放大模块(5)最终显示在所述 示波器(6)上。

2.根据权利要求1所述的光纤非本征法布里-珀罗干涉超声传感检测装置，其特征在于：所 述光纤法布里-珀罗超声传感器(3)的结构是：一根单模光纤(10)插在一个内陶瓷套管 (14)中，该内陶瓷套管外套上一个外陶瓷套管(13)，在所述内陶瓷套管(14)和外陶 瓷套管(13)的两端分别有金属底座(15)和石英振动膜(11)；所述单模光纤(10)内 端面、石英振动膜(11)的内侧面、外陶瓷套管(13)的内壁面和内陶瓷套管(14)端 面构成法布里-珀罗腔(12)；所述法布里-珀罗腔的腔长为单模光纤(10)端面到石英振 动膜(11)内表面的距离；所述光纤法布里-珀罗超声传感器(3)的外陶瓷套管(13)的 内径比内陶瓷套管(14)的外径略小而使外陶瓷套管(13)卡紧在内陶瓷套管(14)上； 所述外陶瓷套管(13)的侧壁上开有一个狭缝(16)；所述外陶瓷套管(13)与所述内陶 瓷套管(14)利用狭缝(16)的应力形变实现位置的相对稳定，并实现法布里-珀罗超声 传感器的最佳工作点；所述石英振动膜(11)的厚度通过氢氟酸腐蚀控制。