[发明专利]用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法

说明书

技术领域

本发明属于半导体集成电路测试分析设计领域，尤其涉及一种用于NVM(非易失性存储器)测试中不同品种参数之间坐标的对应方法。

背景技术

在wafer(晶片)测试中，在不同prober(探针)之间通常是不同的品种参数，或者应用于不同测试功能的品种参数时探针是不同的，因此测试坐标是不一致的。当在不同的测试仪之间做相关性的时候，或者对wafer做工程分析的时候，都需要先确定不同品种参数之间die(die是晶圆或硅片在封装前的单个单元的裸片)的坐标的对应关系。通常是通过已有的测试结果图，与在新的prober上测试的结果对照，来找两个不同品种参数之间的对应关系。但是这里存在的问题有：新的测试环境下(如：不同的prober，不同的测试仪)，测试结果本身就可能不一致，所以先要完成不同品种参数之间的坐标对应关系是很难的。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，该方法可以确保在不同的品种参数下坐标的一致性，实现不同测试环境下测试结果的准确和高效。

为解决上述技术问题，本发明提供一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，包括如下步骤：

(1)在某一品种参数下测试NVM，在某一固定的存储区域写入当前die的坐标(X，Y)；

(2)在新的品种参数下测试步骤(1)中已写入坐标的区域时，先读出步骤(1)中已写入的die的坐标(X，Y)，然后再记录下新的品种参数下的坐标(X’，Y’)；

(3)建立两个品种参数之间坐标的对应关系，得到以下的两个公式：

X’＝aX+bY+M；

Y’＝cX+dY+N；

其中a，b，c，d，M，N是公式中的未知数，通过不同的die来计算出未知数a，b，c，d，M，N，并将其值代入到上述公式中，即得到两个品种参数下的坐标对应关系。

步骤(1)中，所述的当前die的坐标(X，Y)是按二进制编码的。

步骤(3)中，所述通过不同的die来计算出未知数a，b，c，d，M，N具体为：采用三个不同的die的坐标值(X’，Y’)来计算未知数a，b，c，d，M，N。

和现有技术相比，本发明具有以下有益效果：本发明通过建立两个品种参数之间坐标的对应关系，可以很方便地对不同品种参数之间的坐标进行转换，便可以确保在不同的品种参数下坐标的一致性，这样可以方便做不同测试仪之间的测试程序的相关性，测试数据相关性，或者其它的工程分析。该方法可以实现不同测试环境下测试结果的准确和高效。

附图说明

图1是本发明方法的流程示意图；

图2是本发明一种品种参数下的测试图；

图3是本发明新的品种参数下测试了坐标区域的值的示意图；

图4是两种品种参数下的测试图以及相应的坐标示意图，其中，图4(A)是新的品种参数坐标系下的测试坐标以及测试结果图，图4(B)是原始的品种参数坐标系下的测试坐标以及测试结果图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细的说明。

本发明提出一种用于NVM测试中不同品种参数之间坐标的对应方法，它的特点是准确，并且效率高。其主要包括如下步骤：对于NVM，在某一品种参数下测试结束后，在某一固定的存储区域写入当前die的坐标(X，Y)，这样在新的品种参数下测试已写入坐标的区域时，可以先读出该写入的指定区域的die的坐标(X，Y)，然后再记录下新的品种参数下的坐标(X’，Y’)，这样即可以得到以下的两个公式：

X’＝aX+bY+M；

Y’＝cX+dY+N；

其中a，b，c，d，M，N是公式中的未知数，通过三个die来解出公式。由此确定了两个品种参数之间的坐标对应关系。

如图1所示，对本发明方法作进一步详细的说明如下：

(1)对于已写入当前die坐标(X，Y)的NVM，在其他的品种参数下测试时，可以先读出该写入的die的X坐标和Y坐标，其中X坐标和Y坐标均按二进制编码。X，Y坐标值本身代表了两个十进制的数，新品种参数下读到的坐标X’，Y’也是十进制的坐标值，但是写入或读出存储区内的值，本身就是二进制的代码，所以只需将X，Y，X’，Y’的二进制代码都转换为十进制进行计算即可。

(2)代入坐标，通过以下公式进行转换：

X’＝aX+bY+M；

Y’＝cX+dY+N；

分别取不同的die(三个)来计算出新的品种参数下的坐标；