[发明专利]用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头

权利要求书

1.一种用于金属有机物化学沉积设备的扇形进气喷头，包括：

封闭型的外壳体，该外壳体包括上层板、中层板和下层板，在上层板与中层板之间形成供气体进入的进气腔室，在中层板和下层板之间形成冷却腔室，其中：

进气腔室被分隔成彼此隔离的多个扇形区域，对于每一个扇形区域，在中层板与下层板之间固定有多个导热的细管，细管在外壳体的高度方向上延伸过冷却腔室，且细管的开口端与进气腔室连通，细管的出口端朝向邻近的衬底表面，且

进气腔室的至少两个扇形区域引入彼此不同的反应气体。

2.如权利要求1所述的扇形进气喷头，还包括：

设置在冷却腔室上的进水管和出水管，冷却水从进水管进入冷却腔室，再经过出水管流出冷却腔室。

3.如权利要求2所述的扇形进气喷头，其中：

所述细管为不锈钢细管。

4.如权利要求3所述的扇形进气喷头，其中：

不锈钢细管的内径在0.2mm至3mm之间，不锈钢细管之间的距离在0.5mm至10mm之间，且不锈钢细管的管壁厚度在0.5mm至2mm之间。

5.如权利要求1-4中任一项所述的扇形进气喷头，其中：

多个扇形区域被分成引入第一反应气体的第一扇形区域、引入适于与第一反应气体发生反应的第二反应气体的第二扇形区域和引入不与第一反应气体和第二反应气体发生反应的隔离气体的第三扇形区域，第一扇形区域与第二扇形区域被第三扇形区域在进气腔室中间隔开。

6.如权利要求5所述的扇形进气喷头，其中：

所述隔离气体选自：氢气，氮气，氩气或其它惰性气体中的一种，氢气、氮气、氩气和其它惰性气体中的一种的至少两种气体的组合。

7.如权利要求1-4中任一项所述的扇形进气喷头，其中：

多个扇形区域被分成引入第一反应气体的第一扇形区域、引入适于与第一反应气体发生反应的第二反应气体的第二扇形区域。

8.如权利要求1-4中任一项所述的扇形进气喷头，其中：

进气腔室被均分成2n个扇形区域，n为小于13的整数。

9.如权利要求8所述的扇形进气喷头，其中：

每个扇形区域的扇形圆心角的度数在0-180度之间。