[发明专利]一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法

权利要求书

1.一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，将待胶合的空间外差干涉仪两臂端的光栅放置于透明平台上，所述空间外差干涉仪的一个臂端光栅的光轴为水平方向，另一臂端光栅的光轴为竖直方向，所述透明平台为L形平台，所述空间外差干涉仪光轴为水平方向的臂端的光栅放置于透明平台呈大地水平状态的台面上，光轴沿竖直方向的臂端的光栅靠在所述L形透明平台的侧壁上，所述空间外差干涉仪两臂端的光栅倾角可调，设置有激光器、积分球、准直系统，所述激光器对准积分球入光口，所述积分球、准直系统的光轴与所述空间外差干涉仪光轴为竖直方向臂端光栅的光轴重合，还设置有与计算机连接的CCD、成像系统，所述CCD、成像系统的光轴与所述空间外差干涉仪光轴呈水平方向的臂端光栅的光轴重合；其特征在于：包括以下步骤：

(1)在待胶合的空间外差干涉仪两臂端光栅的胶合面上均匀的涂覆光学胶；

(2)控制激光器向积分球发出激光，激光器输出的激光经积分球漫反射后形成均匀面光源，再经准直系统中的准直光路准之后，形成平行光出射，所述平行光入射至待胶合的空间外差干涉仪，被空间外差干涉仪内部的分束器分束至空间外差干涉仪两臂端的光栅上，最后从空间外差干涉仪的出射端出射；

(3)待胶合的空间外差干涉仪出射端的出射光经成像系统之后形成干涉条纹，控制CCD接收光学干涉条纹，并在CCD连接的计算机的显示屏上实时显示出干涉条纹；

(4)进行理论计算，在波数为σ的单色激光入射的情况下，在所述CCD整幅像面宽度w上，所形成的干涉条纹数f_x的理论值从如下计算公式得到：

      f_x＝2σsinγ·w≈4(σ-σ₀)tanθ_l·w

其中，σ为入射光波数，σ₀为系统littrow波数即系统基频，θ_l为系统littrow入射角，γ为光束出射角相差角度；

(5)控制空间外差干涉仪两臂端，使空间外差干涉仪两臂端尚未胶合固化的光栅分别作微量的倾角偏移，在计算机中读取此时CCD整幅像面上的干涉条纹数f，继续调整直空间外差干涉仪两臂端光栅的倾角，直到干涉条纹数f变化到步骤(4)计算得到的理论值f_x时，停止调节，并使两光栅定位；

(6)固化空间外差干涉仪两臂端光栅上的光学胶。

2.根据权利要求1所述的一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，其特征在于：所述的积分球是具有高漫反射性内壁的空心球体，将所述激光器出射光进行漫反射；所述CCD接受面列像元呈大地垂直状态，所述CCD的行像元呈大地水平状态。

3.根据权利要求1所述的一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，其特征在于：所述的光学胶为紫外光敏胶，所述步骤(6)采用紫外光照射对空间外差干涉仪两臂端光栅上涂覆的光学胶进行固化。

4.根据权利要求1所述的一种空间外差干涉仪光栅的胶合检测方法，其特征在于：所述的激光器为可调谐激光器。