[发明专利]一种改善平板显示器感光材料信赖性的方法

说明书

技术领域

本发明属于感光材料处理方法，具体涉及一种改善平板显示器感光材 料信赖性的方法。

背景技术

目前在显示领域，感光材料应用很广泛，如液晶显示器上滤光片的黑 色矩阵(Black Matrix)，RGB彩色光刻胶，触控显示屏的遮光层(Touch Lens) 等均可用感光材料进行制作。由于液晶显示器为保证使用寿命，会对其组 成材料进行苛刻的信赖性(可靠性)测试，测试的环境有：酸、碱、IPA、 丙酮等化学药品，高温、高湿度、冷热交替冲击和长时间沸水蒸煮等等， 这就对液晶组成材料之一的感光材料提出同样的信赖性要求。液晶显示行 业对组成材料的通用信赖性检测有：

一、药品试验：5％NaOH、5％HCL、NMP、IPA等；

二、环境试验：250℃高温、冷热冲击、高温高湿等；

三、密着性测试等等；

现有的光刻胶材料通过普通的工艺条件制作基本上都可达到相关要 求，但是对于目前有些产品(如触控显示屏TP)的特性要求会提出特殊的 信赖性要求：如高浓度强酸、强碱，金属膜蚀刻液、ITO蚀刻液等腐蚀液 浸泡和长时间高温高湿的沸水蒸煮等等，则无法承受，会出现腐蚀、裂纹， 甚至剥落等不良问题。为解决承受严格的信赖性要求，目前的制造厂商都 采用印刷的方式进行制作，但由于材料的原因，印刷工艺制作的膜层都比 较厚，到达10um以上，影响产品的特性和外观；所以很多制造厂商都想通 过用黄光光刻制程的工艺方式进行制作，在基板上制作感光材料层的现有 黄光光刻工艺是将感光材料涂覆(或沉积)在基板上制成感光材料膜层(称 为涂胶)，然后进行曝光、显影和固化等工序。由于对感光材料的信赖性(可 靠性)要求的提高，大家面临的选择，要么是重新开发新的感光材料要么 是改进现有的光刻制程工艺。重新开发能通过高信赖性要求的感光材料则 会很大幅度提高开发成本，所以改进光刻制程工艺是很多制造厂商攻克的 主方向之一。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是对现有技术进行改进，提供一种改善平 板显示器感光材料信赖性的方法。经该方法处理后，可以提高感光材料在 基板上的附着性，具有较好的信赖性(可靠性)。

实现本发明的目的技术方案是：改善平板显示器感光材料信赖性的方 法，采用黄光光刻工艺在基板上制作感光材料膜层，包括涂胶、曝光、显 影、固化步骤，所述涂胶步骤中，形成的感光材料膜层厚度为0.5-20um； 所述曝光步骤中的曝光量为250mj/cm²～1000mj/cm²，在显影步骤后，固化 步骤前，采用1-10kw的高功率紫外灯照射基板上的感光材料，照射时间 为10min-120min。

所述固化步骤中，是把基板放入烤箱内用高温烘烤，将感光材料进行 固化，烘烤温度为200-300℃，烘烤时间为30-120min(或称硬烤)。

在涂胶步骤后，曝光步骤前，增加干燥步骤，即用真空干燥器对基板 上的感光材料进行干燥处理。

在干燥步骤后，曝光步骤前，把基板放入烤箱内对感光材料进行预固 化(或称预烘烤、软烤)，烘烤温度50℃-150℃，烘烤时间为1min- 10min。

曝光量超过1000mj/cm²后对感光材料的信赖性(可靠性)基本没有影 响。

本发明通过大量的实验研究工作，从多个能影响感光材料本信赖性的 工艺参数及条件中，发现在其它参数不改变的情况下，仅大幅提高曝光量 可极大地提高感光材料在基板上的附着性，增强感光材料的膜层结构，使 感光材料能承受高浓度的强酸、强碱等化学药品的腐蚀和长时间高温高湿 的沸水蒸煮、急冷急热的环境冲击等，具有较好的信赖性(可靠性)。

具体实施方式

本发明方法采用黄光光刻工艺在基板上制作感光材料层。

实施例1：

采用日本新日铁公司(Nippon Steel Chemical Co.，Ltd.)生产的黑 色感光胶作为原材料。

黑色感光胶主要成分：

本发明方法按以下步骤进行：

(1)、将黑色感光胶均匀涂覆或沉积在基板上制成感光材料膜层，膜层 厚度为0.5um；

(2)、对基板上的黑色感光材料膜层进行曝光，曝光量为250mj/cm²；

(3)、按常规显影；