[发明专利]四氟化硅气合成的改进的方法

权利要求书

1.一种从金属氟化物生产四氟化硅的方法，所述方法包括：

（a）煅烧并混合进料与硅石，以生产氟硅酸盐复合物；

（b）使所述氟硅酸盐复合物与硫酸反应，以生产四氟化硅和金属硫酸盐；以及

（c）洗涤所述四氟化硅，以移除过量的湿气、尘和其他酸性气体，

其中所述进料颗粒和硅石在从200微米到600微米范围的尺寸，并且其中煅烧所述进 料在从300℃到400℃范围的温度发生。

2.如权利要求1所述的方法，其中煅烧所述进料在从3到25分钟的停留时间发生。

3.如权利要求1所述的方法，其中使所述氟硅酸盐复合物与硫酸反应在从100℃到 500℃范围的温度发生。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述硫酸的量是直到20%的化学计量过量。

5.如权利要求1所述的方法，其中所述硫酸具有从50到100%范围的浓度。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述硫酸具有从98到100%范围的浓度。

7.如权利要求1所述的方法，其中在所述进料中有99%转化效率的所述金属氟化物。

8.如权利要求4所述方法，其中所述过量的硫酸被再循环。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述金属氟化物是氟化铝钠。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述氟化铝钠从硅烷制造方法中被再循环。

11.如权利要求1所述方法，其中内部再循环增加了所述四氟化硅的收率。