[发明专利]用于电子束光刻胶PMMA的显影液及其配制方法无效
| 申请号： | 201010101998.6 | 申请日： | 2010-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN101776852A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王秀平;杨晓红;韩勤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子束光刻 pmma 显影液 及其 配制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子束光刻胶PMMA的显影液，其特征在于，该显影液是异丙醇、甲醇和去离子水的混合液，其中异丙醇、甲醇和去离子水的体积比为7∶2∶1。
2.根据权利要求1所述的用于电子束曝光的显影液，其特征在于，所述异丙醇为化学纯的异丙醇，所述甲醇为化学纯的甲醇。
3.一种用于电子束光刻胶PMMA的显影液的配置方法，其特征在于，该方法包括：
将异丙醇、甲醇和去离子水以一定的体积比混合；
将异丙醇、甲醇和去离子水的混合液在常温下静置一段时间，使得溶液混合均匀。
4.根据权利要求1所述的用于电子束光刻胶PMMA的显影液的配置方法，其特征在于，所述将异丙醇、甲醇和去离子水以一定的体积比混合的步骤中，异丙醇、甲醇和去离子水的体积比为7∶2∶1。
5.根据权利要求1所述的用于电子束光刻胶PMMA的显影液的配置方法，其特征在于，所述将异丙醇、甲醇和去离子水的混合液在常温下静置一段时间，是将异丙醇、甲醇和去离子水的混合液在常温下静置10分钟。
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