[发明专利]减振装置及应用其的光刻装置

权利要求书

1.一种减振装置，承载有一负载，其特征在于，包括：

基座；

壳体，用于支撑所述的负载；

第一气室，刚性连接在基座上，内部充满流体；

活塞，通过第一气室内的流体所支撑；

摆机构，安装在活塞和壳体之间，用于在水平方向对活塞和壳体产生低刚度连接。

2.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，摆机构由至少1个柔性单元组成，柔性单元连接在活塞和壳体之间。

3.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，柔性单元为细杆。

4.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，柔性单元为X摆、折叠摆或倒摆。

5.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，细杆的材料为金属，特别的，细杆材料为钢。

6.根据权利要求3所述的减振装置，其特征在于，摆机构柔性细杆的数目为3根或4根。

7.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，第一气室内部的流体为空气。

8.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，在第一气室和活塞之间设置膜结构，用于流体的密封。

9.根据权利要求1所述的减振装置，其特征在于，在第一气室和活塞之间设置气浮装置，用于第一气室和活塞之间的无摩擦连接。

10.根据权利要求9所述的减振装置，其特征在于，气浮装置包括：高压气源，特别的该高压气源为第一气室的高压空气；喷射高压空气的小孔，该小孔设置在活塞上或(和)设置在与活塞所接触的第一气室表面的内壁；连接高压气源的管道，该管道用于连接小孔和高压气源；排放喷射空气的管道，该管道设置在活塞或第一气室表面接触表面的内壁。

11.根据权利要求7所述的减振装置，其特征在于，减振装置进一步包括：第二气室；连接管道，用于连接第一气室和第二气室。

12.根据权利要求11所述的减振装置，其特征在于，减振装置进一步包括：

气动阀，设置在第一气室或第二气室上；

高压气源；

气动管道，用于连接高压气源和气动阀；

在第一气室或第二气室上设置用于控制气室气压的气动阀。

13.根据权利要求12所述的减振装置，其特征在于，在壳体和基座之间进一步包括如下结构单元：

至少1个相对位置传感器，用于测量壳体和基座之间的相对位置；

至少1个振动传感器，设置在壳体上或(和)基座上，用于测量壳体或(和)基座的振动；

至少1个直线驱动器，用于产生壳体和基座之间所需的力，以补偿壳体的振动；

控制器，根据相对位置传感器和振动传感器的测量信号，控制所述的气动阀和直线电机，在壳体和基座之间产生所需的力，实现壳体的减振和定位。

14.根据权利要求2所述的减振装置，其特征在于，摆机构进一步包括：

至少一个第一摆机构，第一摆机构由至少1个柔性连接单元组成，特别的，柔性连接单元为柔性细杆或倒摆；

至少一个连接单元，连接单元将多个第一摆机构串联，从而进一步降低了减振装置的水平向刚度。

15.一种减振装置，承载有一负载，其特征在于，包括：

基座；

壳体，用于支撑所述的负载；

活塞，刚性连接在壳体上；

第一气室，内部充满高压气体，支撑所述的活塞；

膜结构，设置在第一气室和活塞之间，用于气体的密封；

摆机构，安装在活塞和基座之间，用于在水平向对基座和活塞之间产生低刚度连接。

16.根据权利要求12所述的减振装置，其特征在于，减振装置进一步包括：

第二气室；

第一连接管道，用于连接第一气室和第二气室；

高压气源；

气动阀，设置在第一气室或第二气室上，用于控制所连接气室的压力；

第二连接管道，用于连接高压气源和气动阀。