[发明专利]硅片边缘保护装置及其应用方法

权利要求书

1.一种硅片边缘保护装置，其特征在于，该装置包含：

固定盘(8)；

三偏心凸轮盘(9)，其安装在固定盘(8)上，该三偏心凸轮盘(9)上具有若干分布均匀的偏心槽；

气缸机构(1)，其一头安装在固定盘(8)上，另一头安装在三偏心凸轮盘(9)上；

凸轮随动器(14)，其对应设置在三偏心凸轮盘(9)的偏心槽内；

保护环(2)，其安装在固定盘(8)的正下方；

保护爪(18)，其安装在凸轮随动器(14)上，并且嵌在固定盘(8)中，该保护爪(18)对保护环(2)具有过载保护功能，且保护爪(18)对固定盘起固定作用；

轴承套(11)，其安装在固定盘(8)上，三偏心凸轮盘(9)以轴承套(11)的圆柱面为滑动轴作圆周运动；

钢球(10)，其设置在轴承套(11)上，在轴承套(11)和三偏心凸轮盘(9)之间形成一个滑动副，使三偏心凸轮盘(9)能从固定盘上浮起；

气缸机构(1)通气后，气缸机构(1)带动三偏心凸轮盘(9)做圆周运动，三偏心凸轮盘(9)带动凸轮随动器(14)作径向运动，凸轮随动器(14)带动保护爪(18)一起做径向运动，将保护环(2)抓起或放下，实现保护环的交换。

2.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述三偏心凸轮盘(9)是一个圆环。

3.如权利要求2所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述偏心槽为通槽或非通槽，其中心轨迹曲线由D1D2，D2D3，D3D4三部分组成，每一个中心轨迹曲线中的一段与三偏心凸轮盘(9)中心有偏置量，中心轨迹曲线方程为：

其中，r 1表示为以0(0，0)为圆心，半径为r1的D1D2圆弧；

r2表示为以0(0，0)为圆心，半径为r 1的D3D4圆弧；

r表示为以o2(a2，b2)为圆心，半径为r的圆弧；

θ_o为∠XOO2；

θ为∠XOD3；

每条轨迹曲线与其他的轨迹曲线都与偏心凸轮盘(9)的中心均匀分布。

4.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的气缸机构(1)采用气压缸作为原动力或液压缸作为原动力。

5.如权利要求1所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的硅片边缘保护装置还包含：

定位销(15)，其安装在固定盘(8)上；

弹簧保护销(20)穿过弹簧(19)安装在定位销(15)上，对保护爪(18)起过缓冲和载保护作用；

球头螺钉(17)，其安装在保护爪(18)的头端部，该球头螺钉(17)随保护爪(18)一起作径向运动，对保护环(2)起自定心作用，随着球头螺钉(17)向保护环(2)中心移动，使得原本偏心的保护环(2)回归到中心位置。

6.如权利要求5所述的硅片边缘保护装置，其特征在于，所述的硅片边缘保护装置还包含：

内六角平端紧定螺钉(3)，吹气机构(4)，接近传感器(5)，硅片边缘保护盖板部件(6)，十字槽沉头螺钉(7)，开槽螺钉(13)，X向调节座(12)，四方螺母(16)，第一钢珠(21)，盖板(22)，压板(23)，第二钢珠(24)，螺塞(25)，压块(26)，压盖(27)，螺钉(28)；

内六角平端紧定螺钉(3)安装在X向调节座(12)上，调节X向的位移量；接近传感器(5)均安装在固定盘(8)上，用来测量保护环(2)是否完全与硅片边缘保护接触；十字槽沉头螺钉(7)穿过X向调节座(12)安装在固定盘(8)上，用来固定X向调节座(12)；开槽螺钉(13)穿过轴承套(11)与固定盘(8)连接；四方螺母(16)安装在球头螺钉(17)上；螺塞(25)安装在固定盘(8)上来固定轴承套(11)，硅片边缘保护盖板部件(6)安装在固定盘(8)上，吹气机构(4)安装在固定盘(8)上，第一钢珠(21)放入盖板(22)中，盖板(22)放入压板(23)中用螺钉(28)拧紧，第二钢珠(24)放入压块(26)中，压块(26)放入压盖(27)中后用螺钉(28)拧紧。