[发明专利]透明电极发光二极管及其制作方法

权利要求书

1.一种透明电极发光二极管，包括：蓝宝石衬底(1)、缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)、透明电极(7)、n型金属电极(8)、p型金属电极(9)，其特征在于所述缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)是在MOCVD中依次生长完毕。

2.根据权利要求1所述透明电极发光二极管，其特征在于所述的透明电极(7)是氧化锌基透明导电薄膜，材质是ZnO:Ga或ZnO:Al或ZnO:In。

3.根据权利要求1所述透明电极发光二极管，其特征在于所述的n型金属电极(8)是金属复合电极，该复合电极是Ti/Al或Cr/Pt/Au复合电极。

4.根据权利要求1所述透明电极发光二极管，其特征在于所述的n型金属电极(8)是具有如下特定形状：四周方框形。

5.根据权利要求1所述透明电极发光二极管，其特征在于所述的p型金属电极(9)是金属复合电极，该复合电极是Ni/Au或Cr/Pt/Au复合电极。

6.根据权利要求1所述透明电极发光二极管，其特征在于所述的p型金属电极(9)是具有如下特定形状的：呈方框带对角线形状，打线点位于中央对角线交叉处。

7.一种制造根据权利1要求所述的透明电极发光二极管的制作方法，其特征在于工艺步骤如下：

a.用MOCVD的方法在衬底上依次缓冲层(2)、本征层(3)、n型氮化镓(4)、量子阱(5)、p型氮化镓(6)；

b.对外延片进行镁激活退火处理；

c.使用化学试剂对外延片进行表面处理，其化学试剂是NaOH或者HF或者王水；

d.通过磁控溅射方法，沉积氧化锌透明导电薄膜(7)；

e.用湿法腐蚀的方法刻蚀出所设计的氧化锌透明导电薄膜(7)图形；

f.通过ICP干法刻蚀将n型氮化镓暴露出来，制备出所需芯片结构；

g.对外延片进行退火处理，一方面降低氧化锌与氮化镓之间的接触电阻，一方面修复刻蚀损伤；

h.通过热蒸发或电子束蒸发的方法沉积n型金属电极(8)

i.通过热蒸发或电子束蒸发的方法沉积p型金属电极(9)；

j.再次退火处理，进行金属电极的合金化；

k.分割外延片。