[发明专利]检测焊球失效的电子散斑干涉系统及无损检测方法

权利要求书

1.用于检测板级组装球栅阵列封装器件中焊球失效的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，该电子散斑干涉测试系统包括：检测样品固定与加载部分，电子散斑干涉的离面位移测试光路部分，以及计算机数据处理部分；

其中，检测样品的固定与加载部分对被测球栅阵列封装提供稳定夹持，以及对检测样品施加机械载荷；

离面位移测试光路部分形成检测样品在机械载荷下变形后的干涉条纹，即表面微位移信息；

计算机数据处理部分采集条纹、进行相位解包和位移计算、定位失效区域，并通过进一步计算处理，最终确定失效焊点及其损坏程度。

2.如权利要求1所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，离面位移测试光路部分包括发射光线装置、分光装置、反射装置和叠加干涉装置；四者依次连接并形成特定角度，发射光线装置发出的光线穿过分光装置，一束经反射装置反射、穿过样品并投射到叠加干涉装置，另一束经过反射也投射到叠加干涉装置，两束光线通过叠加干涉装置形成电子散斑干涉条纹。

3.如权利要求2所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，离面位移测试光路部分还包括调整激光束相位的装置，调整激光束相位的装置与反射装置连接。

4.如权利要求2所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，离面位移测试光路部分还包括调整激光束光强的装置，调整激光束光强的装置与反射装置连接。

5.如权利要求2所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，离面位移测试光路部分包括激光器、分光镜、扩束镜、全反镜和棱镜；激光器与分光镜连接，分光镜分别与扩束镜和全反镜连接，棱镜分别与扩束镜和全反镜连接；激光器发射出的激光经过分光镜分为两束，一束经过扩束镜后穿过待测样品投射到棱镜一个侧面，另一束经全反镜反射投射到棱镜的另一侧面，两束激光通过棱镜发生叠加干涉。

6.如权利要求5所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，离面位移测试光路部分还包括压电陶瓷相移器和双偏振片，两者都与全反镜连接。

7.如权利要求1所述的电子散斑干涉测试系统，其特征在于，计算机数据处理部分是安装了分析电子散斑干涉条纹软件的计算机。

8.一种球栅阵列封装中焊球失效的电子散斑干涉检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)对同一型号板级组装球栅阵列封装器件的完好检测样品进行定标测试，测量并记录完好样品在一定夹持、机械加载情况下的离面位移条纹；

(2)保持相同夹持、加载条件情况下，测量并记录待测板级组装球栅阵列封装器件的离面位移条纹；

(3)对上述两组离面位移条纹进行初步比较。

9.如权利要求8所述的电子散斑干涉检测方法，其特征在于，两组离面位移条纹不一致，则确定发生失效。

10.如权利要求8所述的电子散斑干涉检测方法，其特征在于，两组离面位移条纹不一致，则通过对失效相关区域进行进一步计算处理，最终确定失效焊点及其损坏程度。