[发明专利]蚀刻液净化装置无效
| 申请号： | 201010103064.6 | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN102139933A | 公开（公告）日： | 2011-08-03 |
| 发明（设计）人： | 李泽清 | 申请（专利权）人： | 竞陆电子(昆山)有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/28 | 分类号： | C02F1/28;C02F1/00;C23F1/46 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 净化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻液净化装置，其特征在于：包括泵(2)、过滤机(3)和储存筒(4)，若干蚀刻槽(1)内放置有吸油棉，所述过滤机(3)中装有若干支活性炭滤芯，蚀刻槽(1)母液出口与过滤机(3)进液口间连通有抽液管(5)，所述泵(2)位于所述抽液管(5)上，过滤机(3)出液口与储存筒(4)进液口间连通有存储管(6)，过滤机(3)循环口与储存筒(4)循环口间连通有循环管(7)，储存筒(4)出液口与蚀刻槽(1)母液回用口间连通有回用管(8)，所述泵(2)位于回用管(8)上。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液净化装置，其特征在于：所述泵和所述过滤机为连体式。
3.根据权利要求1所述的蚀刻液净化装置，其特征在于：所述泵和所述过滤机为分体式并通过管道相通。
4.根据权利要求1至3之一所述的蚀刻液净化装置，其特征在于：所述蚀刻槽由蚀刻主槽和蚀刻副槽构成，所述吸油棉放置于蚀刻副槽中。
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