[发明专利]光致抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂组合物，包括：

1)5-50％重量感光高分子聚合物，其为一种共聚物，包括

i)10％至100％以下的式(II)重复单元，

其中

R₁代表氢或C₁-C₆-烷基；

R₂代表其中R₃和R₄各自独立地代表氢、卤素、C₁-C₆-烷基、C₁-C₆-烷氧基，或者代表由C₁-C₆-烷基或C₁-C₆-羟烷基取代或未被取代的氨基；

X和Y各自独立地代表O、S或-NR₅，其中R₅代表氢或C₁-C₆-烷基；

n代表1-6之间的任一整数；以及

ii)余量的一种或多种重复单元，其来源于丙烯酸类、丙烯酸酯类、丙烯酰胺类、苯乙烯类或其混合物，以及

2)50-95％重量的溶剂。

2.一种抗蚀剂组合物，包括：

1)5-50％重量感光高分子聚合物，其为由式(II)重复单元组成的均聚物，

其中

R₁代表氢或C₁-C₆-烷基；

R₂代表其中R₃和R₄各自独立地代表氢、卤素、C₁-C₆-烷基、C₁-C₆-烷氧基，或者代表由C₁-C₆-烷基或C₁-C₆-羟烷基取代或未被取代的氨基；

X和Y各自独立地代表O、S或-NR₅，其中R₅代表氢或C₁-C₆-烷基；

n代表1-6之间的任一整数；以及

2)50-95％重量的溶剂。

3.权利要求1或2的抗蚀剂组合物，所述式(II)重复单元中，

R₁代表氢、甲基、乙基、正丙基或异丙基；

R₂代表其中R₃和R₄各自独立地代表氢、氟、氯、溴、甲基、乙基、正丙基、异丙基、甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基，或者代表单取代、双取代或未取代的氨基，所述取代基各自独立地为甲基、乙基、正丙基、异丙基或羟甲基、羟乙基或羟丙基；

X和Y各自独立地代表O、S或-NR₅，其中R₅代表氢、甲基、乙基、正丙基或异丙基；

n代表1、2或3。

4.权利要求1或2的抗蚀剂组合物，所述式(II)重复单元中，

R₁代表氢或甲基；

R₂代表其中R₃和R₄各自独立地代表氢、氟、氯、甲基、甲氧基、N，N-二甲基氨基、N-甲基-N-乙基氨基、N，N-二乙基氨基、N-甲基-N-异丙基氨基或N-甲基-N-异丁基氨基；

X和Y各自独立地代表O或-NR₅，其中R₅代表氢或甲基；

n代表1或2。

5.权利要求1或2的抗蚀剂组合物，其中所述感光高分子聚合物的数均分子量为1000-100000，优选1000-60000，更优选1000-10000，最优选1000-5000。

6.权利要求1或2的抗蚀剂组合物，其中所述感光高分子聚合物的含量为10wt％-40wt％，更优选为20wt％-35wt％。

7.权利要求1的抗蚀剂组合物，其中所述式(II)结构单元占整个聚合物链的摩尔百分比为10％-100％，优选10％-80％，更优选15％-60％，最优选20％-50％。