[发明专利]一种可在BJT和MOSFET之间相互转变的器件有效
申请号: | 201010103868.6 | 申请日: | 2010-01-29 |
公开(公告)号: | CN102142455A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 黄如;秦石强;唐粕人;张丽杰;蔡一茂 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L29/12 | 分类号: | H01L29/12;H01L29/06 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人: | 李稚婷 |
地址: | 100871 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 bjt mosfet 之间 相互 转变 器件 | ||
1.一种半导体器件,可在场效应晶体管和双极结型晶体管之间相互转变,包括场效应晶体管结构中的衬底、栅介质层、栅极、源区和漏区,其特征在于,源区的掺杂浓度比漏区高,栅介质层是由阻变材料构成的阻变介质层,当该阻变介质层为高阻态时该器件为场效应晶体管;当该阻变介质层由高阻态变为低阻态时,该器件转变为双极结型晶体管,场效应晶体管的栅极、源区和漏区对应地分别变为双极结型晶体管的基极、发射极和集电极。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述阻变材料是具有阻变特性的金属氧化物。
3.如权利要求2所述的半导体器件,其特征在于,所述金属氧化物选自氧化镍、氧化锌、和氧化钨中的一种。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述阻变介质层的厚度为10nm-100nm。
5.如权利要求4所述的半导体器件,其特征在于,所述阻变介质层的厚度为10nm-25nm。
6.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述源区的掺杂浓度在1020cm-3数量级,而漏区的掺杂浓度在1015cm-3数量级。
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