[发明专利]一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统无效

专利信息
申请号: 201010105399.1 申请日: 2010-02-03
公开(公告)号: CN102140685A 公开(公告)日: 2011-08-03
发明(设计)人: 吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 申请(专利权)人: 中国科学院福建物质结构研究所
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350002 *** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 多晶 熔炼炉 真空 连续 加料 系统
【权利要求书】:

1.一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。

2.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料室的体积根据多晶硅熔炼炉定做,一般为熔炼炉容量的10%-30%为宜。

3.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料管伸入熔炼炉炉体中,需要耐受高温,加料管的材料由二氧化硅、氧化铝、石墨或其他耐高温材料制成。

4.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料阀门为铜或聚四氟乙烯制成。

5.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:密封顶盖安装有玻璃窗口。

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