[发明专利]一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统无效
申请号: | 201010105399.1 | 申请日: | 2010-02-03 |
公开(公告)号: | CN102140685A | 公开(公告)日: | 2011-08-03 |
发明(设计)人: | 吕佩文;黄丰;董建平;黄顺乐;陈伦泰;林钟潮;柯永灿 | 申请(专利权)人: | 中国科学院福建物质结构研究所 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350002 *** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多晶 熔炼炉 真空 连续 加料 系统 | ||
1.一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,包括密封顶盖、加料室、加料管。其特征在于:密封顶盖设有通气管、密封阀门;加料管上设有加料阀门,与密封顶盖和加料室共同构成密封系统。
2.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料室的体积根据多晶硅熔炼炉定做,一般为熔炼炉容量的10%-30%为宜。
3.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料管伸入熔炼炉炉体中,需要耐受高温,加料管的材料由二氧化硅、氧化铝、石墨或其他耐高温材料制成。
4.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:加料阀门为铜或聚四氟乙烯制成。
5.如权利要求1所述的用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料系统,其特征在于:密封顶盖安装有玻璃窗口。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院福建物质结构研究所,未经中国科学院福建物质结构研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010105399.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。