[发明专利]涂布机所用托台及控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法

权利要求书

1.一种涂布机所用托台，包括：

板；

多个支承杆，设置在板上，在支承杆上安装基板；以及

压缩空气供应单元，向基板的下表面供应压缩空气，以支承基板。

2.如权利要求1所述的涂布机所用托台，其中，板内部具有空气通道，板的上表面具有孔，各空气通道连接到各孔，压缩空气供应单元通过空气通道和孔将压缩空气供应到基板的下表面。

3.如权利要求1所述的涂布机所用托台，其中，离子发生单元连接到板，以在板和基板之间产生离子。

4.一种用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，包括：移动托台，同时沿托台移动方向的相反方向移动具有喷嘴的涂布头单元。

5.如权利要求4所述的用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，其中，在Y轴方向上分别沿相反方向移动托台和具有喷嘴的涂布头单元。

6.如权利要求4所述的用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，其中，在X轴方向上分别沿相反方向移动托台和具有喷嘴的涂布头单元。

7.一种用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，包括：

第一步骤：沿Y轴方向将其上安装基板的托台移动第一预定距离，同时沿托台移动方向的相反方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第二预定距离；

第二步骤：沿X轴方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第三预定距离；

第三步骤：沿第一步骤中托台移动方向的相反方向将托台移动第四预定距离，同时沿托台移动方向的相反方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第五预定距离；

第四步骤：沿X轴方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第六预定距离；以及

第五步骤：以重复的方式按预定数目的次数执行第一至第四步骤，而在最后一次执行第一至第三步骤。

8.如权利要求7所述的用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，其中，在第二步骤中，移动具有喷嘴的涂布头单元，同时沿具有喷嘴的涂布头单元移动方向的相反方向将托台移动预定距离。

9.如权利要求7所述的用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，其中，在第四步骤中，移动具有喷嘴的涂布头单元，同时沿具有喷嘴的涂布头单元移动方向的相反方向将托台移动预定距离。

10.如权利要求7所述的用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，其中，在第一步骤中，分别沿正(+)Y轴方向和负(-)Y轴方向移动托台和具有喷嘴的涂布头单元；在第三步骤中，分别沿负(-)Y轴方向和正(+)Y轴方向移动托台和具有喷嘴的涂布头单元。

11.一种用于控制涂布机中托台和涂布头单元的移动的方法，包括：

第一步骤：沿正(+)Y轴方向将其上安装基板的托台移动第一预定距离，同时沿负(-)Y轴方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第二预定距离；

第二步骤：沿正(+)X轴方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第三预定距离；以及

第三步骤：沿负(-)Y轴方向将托台移动第四预定距离，同时沿正(+)Y轴方向将具有喷嘴的涂布头单元移动第五预定距离。