[发明专利]一种具有快响应高灵敏度和低噪声的紫外光探测器

权利要求书

1.一种具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，包括用宽禁带晶体材料做的光敏层(1)、第一电极(2)、第二电极(3)、电源(4)、电阻(5)、外壳(6)和同轴接头(7)；其特征在于，还包括导电胶(8)；所述的光敏层(1)的晶体材料厚度为：0.5～0.03mm；所述的第一电极(2)为一层铟锡氧导电薄膜，所述的第二电极(3)是一层铟锡氧薄膜；其中，所述的光敏层(1)的两个表面上分别设置所述的第一电极(2)和第二电极(3)，所述的电源(4)的正极和第二电极层(3)电连接，该电源(4)的负极通过所述的电阻(5)与所述的同轴接头(7)电连接，将所述的导电胶8涂覆在第一电极(2)表面，该导电胶(8)沿第一电极(2)表面的周边涂覆，中间留出空白处，其形状和外壳(6)上的窗口一致，该第一电极(2)表面中间的空白处为探测器窗口，通过所述涂覆的导电胶8将光敏层(1)固定在外壳(6)的内壁上。

2.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，还包括一个衬底9，在所述衬底(9)上生长第二电极层(3)，然后在所述第二电极层(3)上生长所述光敏层(1)，再在光敏层(1)上生长第一电极层(2)。

3.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的宽禁带晶体材料为：钛酸锶、钛酸钡、铝酸镧、铌酸锂、氧化锆，氧化镁，三氧化二铝、氧化锌或钽酸钾。

4.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的第一电极(2)的铟锡氧薄膜的厚度为：1～300nm。

5.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的第二电极(3)是外延生长的铟锡氧薄膜，是用真空镀膜、磁控溅射、或激光沉积方法蒸镀的金、银、铝的金属薄膜，或是银胶导电材料；其中，第二电极(3)的厚度为：1～300nm。

6.按权利要求5所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的金属是铜、铝、铁或钢的导电金属。

7.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的电源(4)是电池，或是直流电源或电池，通过电源插头外接。

8.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的电阻(5)是一个取样电阻，其电阻取值范围为：100Ω～100MΩ。

9.按权利要求1所述的具有快响应、低噪声和高灵敏度的紫外光探测器，其特征在于，所述的导电胶(8)是银胶或其它导电胶。