[发明专利]观察窗挡板装置及具有该观察窗挡板装置的腔体观察窗

说明书

技术领域

本发明涉及真空腔机械领域，特别涉及一种观察窗挡板装置及具有该观察窗挡板装置的腔体观察窗。

背景技术

真空或高真空蒸镀过程中，需要对真空腔体内部蒸镀情况进行观察，腔体外连接有观察窗，观察窗一般为一玻璃块。

但由于腔体内存在污染源，该污染然扩散到玻璃块上会降低玻璃块的能见度，影响观察效果。

因此，急需一种观察窗挡板装置，使到当不需要观察时把玻璃块与腔体隔绝，从而保持玻璃块观察时的清晰度。

发明内容

本发明的目的是提供一种观察窗挡板装置，包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡板旋转机构还包括法兰座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，所述隔套固接于所述法兰座上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设于所述第一通孔中并且所述中心轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接所述挡板的挡板承载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固定环固接于所述磁体承载端上，所述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，所述外磁体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环对应所述内磁体处固接若干个与所述内磁体极性相反的外磁体。

所述法兰座包括法兰基座以及与所述法兰基座固接的凸筒，所述第一通孔贯穿所述基座以及所述凸筒。

所述隔套包括隔套基座以及与所述隔套基座固接的凸轴，所述腔体开设于所述隔套基座内。

所述隔套螺钉固接于所述法兰座上，所述法兰座与所述隔套之间设有密封圈。

所述磁体承载端外侧开设有插槽，所述内磁体固定环固套于所述插槽上。

所述凸轴上固套有轴承，所述外磁体固定环固套于所述轴承上从而使所述外磁体固定旋转的套设于所述隔套上。

本发明还提供一种腔体观察窗，包括具有通孔的法兰组合、玻璃体、连接管、以及观察窗挡板装置，所述玻璃体嵌设于所述法兰组合的外端，所述法兰组合的内端与所述连接管的一端固接，所述连接管的另一端与腔体接通，所述观察窗挡板装置固设于所述法兰组合上，所述观察窗挡板装置包括挡板旋转机构以及挡板，所述挡板旋转机构还包括法兰座、中心轴、内磁体固定环、外磁体固定环以及具有一腔体的隔套，所述隔套固接于所述法兰座上，所述法兰座开设有贯通自身的第一通孔，所述中心轴插设于所述通孔中并且所述中心轴两端伸出所述法兰座，所述中心轴的两端分别为磁体承载端以及固接所述挡板的挡板承载端，所述磁体承载端容置于所述腔体内，所述内磁体固定环固接于所述磁体承载端上，所述挡板固接于所述挡板承载端上，所述内磁体固定环上至少固接有两个内磁体，所述外磁体固定环旋转的套设于所述隔套上，所述外磁体固定环对应所述内磁体处固接若干个与所述内磁体极性相反的外磁体，所述通孔对应所述玻璃体的内侧具有与所述挡板形状大小匹配的挡孔部分，所述挡板承载端伸进所述法兰组合对应所述挡孔部分与腔体之间的通孔，所述挡板闭合时挡住所述挡孔部分。

所述法兰组合包括第一法兰、第二法兰以及第三法兰，所述第二法兰一端固接所述第一法兰，另一端与所述第三法兰的一端固接，所述挡孔部分设于所述第二法兰内，所述观察窗挡板装置固设于所述第二法兰上，所述挡板承载端伸到所述第二法兰对应所述挡孔部分与腔体之间的通孔。

所述玻璃体嵌设于所述第一法兰内以挡住所述通孔，所述第一法兰、第二法兰对应所述玻璃体的边缘的两侧分别延伸有第一凸缘、第二凸缘，所述第一凸缘与所述玻璃体之间设有密封圈，所述第二凸缘与所述玻璃体之间设有密封圈以及中心环，所述密封圈设于第一法兰的内壁以及所述中心环之间并抵顶所述第一法兰的内壁以及所述中心环。

所述第二凸缘之间形成所述挡孔部分，所述中心轴的挡板承载端伸进第二法兰对应所述第二凸缘与腔体之间的通孔。

与现有技术相比，本发明观察窗挡板装置的挡板设于观察窗玻璃体与腔体之间的通孔处，不需要观察时，旋转挡板挡住通孔，防止玻璃体被腔体内的污染源污染而影响观察效果。

通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。

附图说明

图1为本发明腔体观察窗与腔体连通的剖视示意图。

图2为本发明腔体观察窗的剖视结构图。

图3为图1中沿剖面线A-A的剖视图。

图4为本发明观察窗挡板装置的剖视结构图。

图5为本发明观察窗挡板装置的挡板旋转机构的剖视示意图。

图6为图5所示挡板旋转机构的法兰基座的剖视示意图。

图7为图5所示挡板旋转机构的隔套的剖视示意图。