[发明专利]光谱仪杂散光校正方法

权利要求书

1.一种光谱仪杂散光校正方法，其特征在于在光谱仪的光信号采集装置和色散元件(4)之间设置可切入光路的一个以上滤色片(6)，且包括以下步骤：

a)在不切入所述滤色片(6)时测量待测光源的光谱功率；

b)将滤色片(6)切入到入射狭缝和色散元件之间的光路上，测量同一待测光源的光谱功率；

c)根据步骤a)和步骤b)的测量结果计算得到第二杂散光分布因子或杂散光校正因子；

d)用所述杂散光分布因子或杂散光校正因子修正不切入上述滤色片(6)时测得的该待测光源或其它与待测光源具有相似光谱功率分布的同类光源的光谱功率 ；

在所述的步骤a)之前或者在所述的步骤d)之后，使用一个以上波长在所述的滤色片(6)的通光波段内的激光校正杂散光，其步骤为：

1)在切入或不切入所述滤色片(6)的条件下用光谱仪分别测量所述的一个以上波长激光，得到激光在光谱仪不同波长位置的杂散光分布功率，计算激光对应波长的光辐射在其它各波长产生杂散光的第一杂散光分布因子；

2)根据该光谱仪测得的任一待测光源的光谱功率和第一杂散光分布因子，积分计算出各波长上接收的杂散光功率，所测光谱功率减去各波长上的杂散光功率得到经过杂散光校正光谱功率。

2.根据权利要求1所述的光谱仪杂散光校正方法，其特征在于：所述的滤色片(6)中包括一个以上长通滤色片(6-1)，各长通滤色片(6-1)的截止波长将光谱仪的测量波段分为若干个子波段，根据切入各长通滤色片(6-1)和不切入长通滤色片(6-1)时测量同一待测光源的光谱功率，计算每个截止波长之前的子波段内的杂散光功率分布，并与不切入长通滤色片(6-1)时测量的该子波段的光谱功率相比，得到截止波长之前的子波段内的第二杂散光分布因子；将不切入长通滤色片(6-1)时的光谱功率测量值减去其与第二杂散光分布因子的乘积，得到经过杂散光修正的光谱功率。

3.根据权利要求1或2所述的光谱仪杂散光校正方法，其特征在于：所述的滤色片(6)中包括一个以上短通滤色片(6-2)和/或带通滤色片(6-3)，将在切入短通滤色片和/或带通滤色片下测得的待测光源的光谱功率除以不切入短通滤色片或带通滤色片时测得的同一待测光源的光谱功率，得到该波段杂散光校正因子；不切入所述短通滤色片(6-2)或带通滤色片(6-3)时的光谱功率测量值乘以杂散光校正因子，得到经过杂散光校正的光谱功率。

4.根据权利要求1所述的光谱仪杂散光校正方法，其特征在于：在步骤d)中，用所述的第二杂散光分布因子或杂散光校正因子修正在不加上述滤色片的条件下测量的与所述待测光源具有相似光谱功率分布的同类光源。 

5.根据权利要求1或2所述的光谱仪杂散光校正方法，其特征在于：采用定标光源对光谱仪定标时，先测量和计算出相应的杂散光分布因子，并用来校正光谱仪对定标光源的光谱响应值，得到校正的光谱响应，利用校正的光谱响应定标光谱仪的光谱灵敏度。

6.一种光谱仪杂散光校正方法，其特征在于在光谱仪的光信号采集装置(1)和色散元件(4)之间设置可切入光路的一个以上滤色片(6)，所述滤色片(6)中包括导通波段在光谱仪的测量波段以外的滤色片，且包括以下步骤：

a)在切入或者不切入所述滤色片(6)的条件下使用光谱仪测量一束或多束功率和波长已知的带外激光，所述带外激光的对应波长在光谱仪的测量波段之外，得到带外激光在光谱仪不同波长位置的杂散光分布功率，计算带外激光对应波长的光辐射在光谱仪测量波段内各波长处产生杂散光的杂散光分布因子；

b)根据切入所述导通波段在光谱仪测量波段以外的滤色片(6)时测得的待测光源的光谱功率和所述杂散光分布因子，推算待测光源在光谱仪测量波段以外的光谱功率；

c)根据所述杂散光分布因子和待测光源在光谱仪测量波段以外的光谱功率计算待测光源在光谱仪测量波段外的光辐射在光谱仪测量波段内的各波长处产生的杂散光功率，不切入所述滤色片(6)时测得的待测光源或与待测光源具有相似光谱功率分布的同类光源的光谱功率减去上述各波长的杂散光功率，校正光谱仪测量波段外的光辐射带来的杂散光误差。