[发明专利]一种联体式真空高温歧化反应装置

权利要求书

1.一种联体式真空高温歧化反应装置，它由两个相连接的反应炉构成，包括炉壳、发热体、坩埚和真空系统，其特征在于：

(一)两反应炉的炉壳分别由两个圆柱体构成，两圆柱体的上侧部通过带冷阱的管道和法兰相连；

(二)两个反应炉分别有各自的发热体和坩埚，发热体和坩埚可以用相同的材料或者不同的材料制成；

(三)第一反应炉坩埚的上方设置一个一氧化硅集气罩，集气罩通过一个Γ形冷凝管同两炉体之间连接管道与法兰相连接；

(四)第二反应炉坩埚的上方设置有一氧化硅注入管，注入管的后端同两炉体之间的连接管道与法兰相连接；

(五)两反应炉分别设置有各自独立的高真空系统，高真空系统的连接口设置在两炉壳外侧面的偏下方部位。

2.按权利要求1所述的联体式真空高温歧化反应装置，其特征在于所说的两反应炉的炉壳采取上、下三层结构由炉盖、炉筒和炉底构成。

3.按权利要求1所述的联体式真空高温歧化反应装置，其特征在于所说的第一反应炉的发热体用高纯石墨管制成；其坩埚则采用高纯石英管制作；第二反应炉的发热体采用钼丝或者钽片制作，而坩埚则采用钽管制作。

4.按权利要求1所述的联体式真空高温歧化反应装置，其特征在于所说的两个反应炉的高真空系统工作时，第一反应炉炉内真空度为1×10^-4托；而第二反应炉炉内真空度则为1×10^-5托，两个反应炉之间要求保持一个数量级的压差。