[发明专利]一种制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法无效
| 申请号： | 201010108642.5 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101806961A | 公开（公告）日： | 2010-08-18 |
| 发明（设计）人： | 甄红宇;李国龙;周可余;刘旭 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/21 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 中空 透射 型法布里 珀罗腔 滤波器 方法 | ||
1.一种制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，其特征在于：包括如下步骤：
1)在下基板(105)的上表面依次形成下介质高反膜层(104)和中空的下薄膜电极层(103)；
所述的下介质高反膜层(104)和下薄膜电极层(103)中至少一层的上表面经过表面能改性，使下薄膜电极层(103)的表面能高于下介质高反膜层(104)的表面能；
2)将压电聚合物选择性地沉积在下薄膜电极层(103)上，形成聚合物薄膜层(101)；
3)在聚合物薄膜层(101)上通过掩膜蒸镀上薄膜电极层(102)，形成中空透射型法布里-珀罗腔滤波器下半部分；
4)在上基板(107)上蒸镀上介质高反膜层(106)，形成中空透射型法布里-珀罗腔滤波器上半部分；
5)将中空透射型法布里-珀罗腔滤波器下半部分的上薄膜电极层(102)与中空透射型法布里-珀罗腔滤波器上半部分的上介质高反膜层(106)对准、压紧，并在薄膜电极层(102)与上介质高反膜层(106)接触面的外边缘通过紫外曝光胶固定，形成中空透射型法布里-珀罗腔滤波器。
2.如权利要求1所述的制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，其特征在于：步骤1)为在下基板(105)上蒸镀形成下介质高反膜层(104)，对所述的下介质高反膜层(104)进行表面能改性，在表面能改性后的下介质高反膜层上蒸镀形成下薄膜电极层(103)。
3.如权利要求1所述的制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，其特征在于：步骤1)为在下基板(105)上蒸渡依次形成下介质高反膜层(104)、下薄膜电极层(103)，对所述的薄膜电极层(103)进行表面能改性。
4.如权利要求1所述的制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，其特征在于：步骤1)为在下基板(105)上蒸镀形成下介质高反膜层(104)，对所述的下介质高反膜层(104)进行表面能改性，在表面能改性后的下介质高反膜层(104)上蒸镀形成下薄膜电极层(103)，对所述的下薄膜电极层(103)进行表面能改性。
5.如权利要求1所述的制备中空透射型法布里-珀罗腔滤波器的方法，其特征在于：步骤2)中将压电聚合物通过旋涂或流涎的方法选择性地沉积在下薄膜电极层(103)上。
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