[发明专利]电气试验用装置及电子装置的电气试验方法

权利要求书

1.一种电气试验用装置，其特征在于，

具有：第1探头，与检查装置电接触；

第2探头，与上述第1探头电连接，并与试验体的外部端子电接触；

气缸，容纳上述第1探头和上述第2探头，流体流入流出上述第1探头和上述第2探头之间；以及

流体压调节器，控制上述气缸内的流体压，

上述第1探头与上述检查装置的接触力及上述第2探头与上述外部端子的接触力由上述气缸内的流体压控制。

2.根据权利要求1所述的电气试验用装置，其特征在于，

上述第1探头和上述第2探头通过弹性部件连接，

上述弹性部件向上述检查装置方向推压上述第1探头，向上述外部端子方向推压上述第2探头。

3.根据权利要求2所述的电气试验用装置，其特征在于，

上述第1探头与上述检查装置的接触力及上述第2探头与上述外部端子的接触力中，由上述气缸内的流体压所产生的接触力大于由上述弹性部件的推压力所产生的接触力。

4.根据权利要求3所述的电气试验用装置，其特征在于，

由上述弹性部件的推压力所产生的接触力是由上述流体压所产生的接触力的5％以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的电气试验用装置，其特征在于，

上述第1探头和上述第2探头经由上述弹性部件电连接。

6.根据权利要求5所述的电气试验用装置，其特征在于，

上述弹性部件是螺旋弹簧。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的电气试验用装置，其特征在于，

上述流体是空气，

上述流体压调节器是电气流体调节器。

8.一种电子装置的电气试验方法，其特征在于，

向容纳电连接的第1探头和第2探头的气缸内提供流体，

通过上述气缸内的流体压维持上述第1探头和检查装置电接触，并且维持上述第2探头和电子装置的外部端子电接触，

将多个上述气缸内的流体压控制为恒定。

9.根据权利要求8所述的电子装置的电气试验方法，其特征在于，

通过弹性部件连接上述第1探头和上述第2探头，

还通过上述弹性部件的推压力维持上述第1探头和上述检查装置电接触，并且维持上述第2探头和电子装置的外部端子电接触，

上述第1探头与上述检查装置的接触力及上述第2探头与上述外部端子的接触力中，由上述气缸内的流体压所产生的接触力大于由上述弹性部件的推压力所产生的接触力。