[发明专利]一种用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置有效
| 申请号： | 201010109099.0 | 申请日： | 2010-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101760785A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 张国春;赵三根;傅佩珍;吴以成 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人： | 杨小蓉;高宇 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 调节 晶体生长 坩埚 径向 温度梯度 装置 | ||
1.一种用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其特征在于：其包 括：
扣装于坩埚(1)上端的带第一中心通孔的铂金反射罩(2)和覆于所述铂金反射 罩(2)上表面上的带第二中心通孔的耐火保温罩(3)；
所述第一中心通孔直径为坩埚(1)内直径的1/9-5/9；
所述第二中心通孔直径大于第一中心通孔直径2-5mm；
所述耐火保温罩(3)的上表面为平面。
2.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，所述铂金反射罩(2)为凹面型反射罩或凸面型反射罩。
3.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，所述铂金反射罩(2)上开有与所述第一中心孔相连通的穿透所述铂金反 射罩(2)的第一观察窗口，所述第一观察窗口宽5-10mm，长为10-20mm；同时，所述 耐火保温罩(3)开有与所述第二中心孔相连通的穿透所述耐火保温罩(3)的第二观 察窗口，所述第二观察窗口宽7-12mm，长12-22mm；所述第一观察窗口与第二观察 窗口在宽度方向上的中心重合。
4.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，铂金反射罩(2)下口有一向下延伸的边缘，下口直径大于贵金属坩埚(1) 外直径2-4mm。
5.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，铂金反射罩(2)和耐火保温罩(3)与生长炉膛之间留有3-6mm间隙。
6.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，所述铂金反射罩(2)顶端至底端的高度为10-30mm，厚度1-3mm。
7.按权利要求1所述的用于调节晶体生长炉中坩埚内径向温度梯度的装置，其 特征在于，所述耐火保温罩(3)顶端至底端的高度为20-40mm。
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