[发明专利]激光加工方法、激光加工装置以及太阳能电池板制造方法

权利要求书

1.一种激光加工方法，将激光束分叉为多条激光束，使分叉的多条激 光束对工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对工件实施规定的加 工，所述激光加工方法的特征在于：

在所述激光束的分叉前的光路中配置相位型衍射光学元件机构，将所 述激光束转换为顶帽形强度分布，且以转换后的多条激光束照射至所述工 件为止的各光路长度相同的方式，来将所述激光束分叉为多条激光束而对 所述工件进行照射；

使用由半反光镜及反射镜构成的分叉机构来将激光束分叉为多条激光 束，使用所述分叉机构，将垂直朝向所述工件的加工面的垂直激光束分叉 为多条激光束，并且以所述垂直激光束的前进方向为中心轴而使所述分叉 机构旋转，由此，对所述激光束的分叉方向与所述激光束的对所述工件的 相对移动方向所构成的角度进行可变控制，

在对所述工件照射转换为顶帽形强度分布后的激光束，并且所述激光 束的分叉方向与所述激光束的相对移动方向所构成的角度受到旋转控制的 情况下，使得所述相位型衍射光学元件机构不相对于所述激光束的相对移 动方向而旋转。

2.一种激光加工装置，将激光束分叉为多条激光束，使分叉的多条激 光束对保持机构所保持的工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对 工件实施规定的加工，所述激光加工装置的特征在于包括：

相位型衍射光学元件机构，设置在所述激光束的分叉前的光路中，将 所述激光束转换为顶帽形强度分布；以及

分叉机构，以由所述相位型衍射光学元件机构转换的多条激光束照射 至所述工件为止的各光路长度相同的方式，来将所述激光束分叉为多条激 光束而对所述工件进行照射，

所述分叉机构使用半反光镜及反射镜来将垂直朝向所述工件的加工 面的垂直激光束分叉为多条激光束，

所述激光加工装置更包括：

控制机构，使由所述分叉机构分叉的多条激光束对所述保持机构所 保持的工件一面进行相对移动一面进行照射，由此来对工件实施规定的 加工；以及

旋转控制机构，以所述垂直激光束的前进方向为中心轴来对所述分 叉机构进行旋转控制，由此，对所述激光束的分叉方向与所述激光束的 对所述工件的相对移动方向所构成的角度进行可变控制，

在对所述工件照射由所述相位型衍射光学元件机构进行转换后的激 光束，并且所述激光束的分叉方向与所述激光束的相对移动方向所构成 的角度受到旋转控制的情况下，所述相位型衍射光学元件机构不会相对 于所述激光束的相对移动方向而旋转。

3.一种太阳能电池板制造方法，其特征在于：

使用根据权利要求1所述的激光加工方法、或者根据权利要求2所 述的激光加工装置来制造太阳能电池板。