[发明专利]一种共聚焦系统的深度分辨装置及方法有效
申请号: | 201010110561.9 | 申请日: | 2010-02-09 |
公开(公告)号: | CN101776803B | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 张韫宏;郭鑫;王枫;何平;寿晶晶 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G02B27/58 | 分类号: | G02B27/58;G01N21/65 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 付雷杰;郭德忠 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 聚焦 系统 深度 分辨 装置 方法 | ||
1.一种共聚焦系统的深度分辨装置,包括内圆盘(1)和外圆环(2);外 围设备为光学显微系统,光学显微系统包括直线滤波器、凸透镜A、凸透镜B、 空间滤波器和凹槽滤波器,激光依次通过直线滤波器和凸透镜A后在空间滤波 器上聚焦,聚焦之后的激光通过另一凸透镜B发出平行光,平行光照射在凹槽 滤波器上;其特征在于:内圆盘(1)和外圆环(2)之间形成圆环,内圆盘(1) 和外圆环(2)之间形成的圆环为透光区,内圆盘(1)的外边缘有沉孔,在与 内圆盘(1)的沉孔相对应的外圆环(2)的内边缘有另一沉孔,光纤卡在内圆 盘(1)的沉孔和外圆环(2)的沉孔中将内圆盘(1)和外圆环(2)固定连接; 内圆盘(1)和外圆环(2)之间形成的圆环环宽为200~400nm;内圆盘(1)的 直径为900~1100nm;内圆盘(1)和外圆环(2)的厚度相同,内圆盘(1)和 外圆环(2)的厚度为500~20000nm;外圆环(2)的外直径为1200~1600nm; 内圆盘(1)和外圆环(2)置于凸透镜B和凹槽滤波器之间。
2.根据权利要求1所述的一种共聚焦系统的深度分辨装置,其特征在于: 内圆盘(1)和外圆环(2)均为金属材料,内圆盘(1)和外圆环(2)进行金 属黑化处理。
3.一种共聚焦系统的深度分辨方法,其特征在于其具体过程为:激光依次 通过直线滤波器和凸透镜A后在空间滤波器上聚焦,聚焦之后的激光通过凸透 镜B发出平行光,平行光垂直经过内圆盘(1)和外圆环(2)之间形成的圆环, 其圆环为透光区,内圆盘(1)的外边缘有沉孔,在与内圆盘(1)的沉孔相对 应的外圆环(2)的内边缘有另一沉孔,光纤卡在内圆盘(1)的沉孔和外圆环 (2)的沉孔中将内圆盘(1)和外圆环(2)固定连接;内圆盘(1)和外圆环 (2)之间形成的圆环环宽为200~400nm;内圆盘(1)的直径为900~1100nm; 内圆盘(1)和外圆环(2)的厚度相同,内圆盘(1)和外圆环(2)的厚度为 500~20000nm;外圆环(2)的外直径为1200~1600nm;形成圆环后形成同轴空 心激光,同轴空心激光照射在凹槽滤波器上,同轴空心激光经过凹槽滤波器的 反射后进入物镜,形成同轴空心光锥穿过被测物体的表面,汇聚到物体的内部。
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