[发明专利]硅基液晶显示面板的制作方法以及其基板的制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种液晶显示面板的制作方法以及其基板的制作方法，且特别是涉及一种硅基液晶显示面板的制作方法以及其基板的制作方法。

背景技术

提到液晶显示器，人们就会联想到笔记型电脑或个人电脑用的液晶显示器。硅基液晶(liquid crystal on silicon，LCoS)显示器为一种新型的液晶显示器，其为结合半导体超大型集成电路(very-large-scale integration，VLSI)技术和液晶显示技术的高科技产品。

硅基液晶显示器中的硅基板可利用常规的互补式金属氧化物半导体(complementary metal-oxide-semiconductor，CMOS)技术批量生产，并可随半导体工艺的发展进一步微型化，且可提高分辨率。因此，硅基液晶显示器具备低功耗、微型尺寸、超轻重量等特点，故硅基液晶显示器便于随身携带，且其功耗远低于主动式矩阵液晶显示器(active-matrix liquid crystal display，AMLCD)，而生产成本可望与阴极射线管(cathode ray tube，CRT)相比拟。

现有的硅基液晶显示器的液晶材料是配置在单晶硅基材上的配向膜(一般为二氧化硅层)与玻璃基材之间，并通过同样配置在配向膜与玻璃基材之间的胶框来将液晶材料固定在胶框、单晶硅基材与玻璃基材之间。然而，由于二氧化硅层的结构较为松散，因此，外界环境中的水气易进入二氧化硅层中用以配向的部分(亦即二氧化硅层的与液晶接触的部分)造成边界不稳定现象而影响可靠度。此外，由于二氧化硅层与胶框容易因二者的材料表面化学特性而导致两者的接着性不佳，以致于硅基液晶显示器的可靠度下降。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅基液晶显示面板的基板的制作方法，可提升基板与后续形成的框胶的接着性。

本发明提供一种硅基液晶显示面板的制作方法，可提升硅基液晶显示面板阻隔外界环境中的水气的能力。

本发明提出一种硅基液晶显示面板的基板的制作方法如下所述。首先，提供一基材。接着，在基材上形成一配向层。然后，提供一透明板与一光掩模层，透明板具有相对的一第一表面与一第二表面，且透明板包括至少一凸起，凸起突出于第一表面，光掩模层配置于第二表面上并具有至少一开口以暴露出部分表面。之后，将透明板与光掩模层配置于配向层上方，并使凸起朝向配向层。接着，以光掩模层为光掩模对配向层进行一准分子激光制作工艺，以使准分子激光通过开口而照射并熔融配向层的位于开口下方的部分。然后，在配向层的位于开口下方的部分处于熔融态时，使透明板朝向配向层移动，并使凸起贯穿配向层的位于开口下方的部分。之后，移除透明板与光掩模层。

在本发明的一实施例中，在进行准分子激光制作工艺时，更包括使准分子激光通过开口而照射并熔融基材的位于开口下方的部分，并且，在使凸起贯穿配向层的位于开口下方的部分时，更包括使凸起插入基材中。

在本发明的一实施例中，开口位于凸起上方。

在本发明的一实施例中，基材的材质为单晶硅或玻璃。

在本发明的一实施例中，凸起的突出于第一表面的高度大于配向层的厚度。

在本发明的一实施例中，配向层的材质包括二氧化硅。

在本发明的一实施例中，凸起为一环状凸起。

在本发明的一实施例中，开口为一环状开口。

本发明提出一种硅基液晶显示面板的制作方法如下所述。首先，提供一基材。接着，在基材上形成一配向层。然后，提供一透明板与一光掩模层，透明板具有相对的一第一表面与一第二表面，且透明板包括至少一凸起，凸起突出于第一表面，光掩模层配置于第二表面上并具有至少一开口以暴露出部分表面。之后，将透明板与光掩模层配置于配向层上方，并使凸起朝向配向层。接着，以光掩模层为光掩模对配向层进行一准分子激光制作工艺，以使准分子激光通过开口而照射并熔融配向层的位于开口下方的部分。然后，在配向层的位于开口下方的部分处于熔融态时，使透明板朝向配向层移动，并使凸起贯穿配向层的位于开口下方的部分，以形成一贯穿配向层的凹槽。 之后，移除透明板与光掩模层。接着，在凹槽中形成一胶框，胶框与基材构成一容置凹槽。之后，在基材上配置一对向基材，其中胶框位于基材与对向基材之间，且对向基材覆盖容置凹槽。然后，在容置凹槽中形成一液晶层。

在本发明的一实施例中，开口位于凸起上方。