[发明专利]制膜系统及制膜方法

权利要求书

1.一种制膜系统，其特征在于，包括：

容器，容纳有液体；

排水手段，用以排除该液体；

环型件，以上下移动自如方式设于该容器内，并浮于该液体上；

承载件，设于该容器内的液体中，且该承载件用以承载至少一基板；以及

成膜材料，注入于该容器内的液体表面，以形成膜状物，且令该膜状物的边缘接触该环型件的内径缘。

2.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该容器为圆形、六角形或多边形。

3.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该环型件为片状。

4.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该环型件的外径侧对应该容器的内壁。

5.根据权利要求1或4所述的制膜系统，其特征在于，形成该承载件的材料为亲水性材料。

6.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该基板为晶圆。

7.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该成膜材料包含纳米球与醇类水溶液。

8.根据权利要求7所述的制膜系统，其特征在于，还包括输送装置，用以容纳成膜材料，以将该成膜材料输送至该容器内，令该成膜材料形成该膜状物。

9.根据权利要求8所述的制膜系统，其特征在于，该输送装置具有注射单元，以将该成膜材料注入该容器中。

10.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该排水手段包括有贯穿该容器的排水孔、开闭该排水孔的孔塞。

11.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该排水手段包括有贯穿该容器的排水孔、连接该排水孔导引流向的排水管、及控制流量的止水阀。

12.根据权利要求10或11所述的制膜系统，其特征在于，该排水手段还包括蒸发器。

13.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，该排水手段包括进入该容器中的管体。

14.根据权利要求1所述的制膜系统，其特征在于，还包括分离结构，用以分离该承载件与该容器。

15.根据权利要求14所述的制膜系统，其特征在于，该分离结构具有设于该承载件上的夹持部，供机械手臂夹持该承载件以分离该承载件与该容器。

16.根据权利要求15所述的制膜系统，其特征在于，该容器与该承载件之间具有空隙，以利于该机器手臂夹持该承载件。

17.一种制膜方法，是以权利要求1所述的制膜系统制膜的方法，其特征在于，包括：

将液体注入该容器，以令该环型件浮于该液体上，而该承载件位于该液体中；

在该液体面上注入成膜材料，而在该液体上面的环型件内形成膜状物，且该膜状物的边缘接触该环型件的内径缘；以及

移除该液体，以令该膜状物配合该环型件下移而形成于该承载件及设于该承载件上的该基板上。

18.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该容器为圆形、六角形或多边形。

19.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该环型件为片状。

20.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该环型件的外径侧对应该容器的内壁。

21.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，形成该承载件的材料为亲水性材料。

22.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该基板为晶圆。

23.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该液体为水。

24.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该膜状物是以沉积方式形成于该基板上。

25.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，该成膜材料包含纳米球与醇类水溶液。

26.根据权利要求25所述的制膜方法，其特征在于，还包括通过输送装置将该成膜材料输送至该容器内。

27.根据权利要求26所述的制膜方法，其特征在于，该输送装置具有注射单元，以将该成膜材料注入该容器中。

28.根据权利要求17所述的制膜方法，其特征在于，还包括在移除该液体后，以蒸发器干燥该膜状物。