[发明专利]平板显示器基板的电气性能测试中使用的冷却及防潮装置

权利要求书

1.一种冷却及防潮装置，在测试平板显示器基板的电气性能中使用，该装置包括：

流速及压力控制器，用于控制从外界引入的压缩气体的流速和压力；

冷热气体生成单元，用于将从流速及压力控制器提供的压缩气体分成冷气流和热气流，并排出冷气流和热气流；

加热器，用于加热从冷热气体生成单元排出的冷气流，从而将气流的温度控制到用于测试平板显示器基板的电气性能所需的温度；

电源，用于为加热器供给热量生成源；

冷气流喷嘴，用于向平板显示器基板的表面喷射冷气体，从而冷却所述表面，所述冷气体是从冷热气体生成单元排出的，并通过加热器进行温度控制；

防潮单元，用于围绕冷气流喷嘴喷出的冷气流喷射热气流，从而实现平板显示器基板的防潮，所述热气流是从冷热气体生成单元排出的；以及

控制单元，用于控制流速及压力控制器以及电源的工作。

2.如权利要求1所述的装置，其中冷热气体生成单元是涡流管。

3.如权利要求1所述的装置，其中加热器具有这样的结构，在该结构中，连接到电源的热量生成电线嵌入陶瓷体内。

4.如权利要求1所述的装置，其中电源是线性DC电源。

5.如权利要求1所述的装置，其中防潮单元包括：

热气流导引元件，所述热气流导引元件连接到冷热气体生成 单元的热气体排出端部，并与冷气流喷嘴的上部边缘结合，从而将热气流引入热气流导引元件内，热气流导引元件具有一个或多个倾斜的喷出口，进而将引入的热气流关于冷气流喷嘴倾斜地排出；以及

热气流排出嘴，所述热气流排出嘴从热气流导引元件上延伸出并包围冷气流喷嘴，热气流排出嘴提供经由倾斜口排出的热气流，并将所述热气流喷射到基板的表面上同时形成气旋，这样热气流会使得冷气体的温度升高到常温下，该冷气体已将基板的表面冷却，从而防止在基板的表面上产生水气。

6.如权利要求1所述的装置，进一步包括：

热气流流速的控制阀，用于控制在流速及压力控制器的控制下从冷热气体生成单元排出的以及提供给防潮单元的热气流的流速；以及

冷气体到热气体比率控制阀，所述冷气体到热气体比率控制阀设置在冷热气体生成单元的热气流排出侧，冷气体到热气体比率控制阀的开启或关闭是与热气流流速的控制阀协同完成，从而控制由冷热气体生成单元排出的冷气流到热气流的比率。

7.如权利要求6所述的装置，其中冷气体到热气体比率控制阀是通过管路与流速及压力控制器连接，从而通过流速及压力控制器，所述冷气体到热气体比率控制阀将排出的热气体排放到外面。

8.如权利要求1所述的装置，其中加热器具有冷气流温度传感器，用于检测由加热器加热的冷气流的温度，该装置进一步包括温度控制器，用于控制电源，从而基于检测到的冷气流的温度信息的控制器的控制，来控制加热器对冷气流进行加热的温度。