[发明专利]超高速精密气动微主轴单元

权利要求书

1.超高速精密气动微主轴单元，包括：主轴、涡轮、前端气体 轴承、后端气体轴承、箱体、微型弹性联轴节、形状记忆合金夹套、 执行轴、执行轴气体轴承，其特征在于：所述主轴前端通过所述前端 气体轴承、后端通过所述后端气体轴承支承安装在所述箱体的轴孔 中；在所述前端气体轴承与后端气体轴承之间设置有涡轮室，所述涡 轮设置在所述主轴上并处于所述涡轮室中；所述前端气体轴承、所述 后端气体轴承分别由至少一个静压气体径向轴承和一个静压气体止 推轴承组成；所述主轴前端设有轴向孔和微型弹性联轴节；所述执行 轴通过所述执行轴气体轴承支承安装在所述箱体的轴孔中，其一端安 装在所述主轴前端设置的轴向孔中；所述形状记忆合金夹套安装在所 述主轴前端的外圆周上，将所述执行轴夹持在所述主轴中；所述执行 轴气体轴承由至少一个静压气体径向轴承组成。

2.根据权利要求1所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述主轴与涡轮制成一体。

3.根据权利要求2所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述主轴后端面沿所述主轴轴线对称设有两个孔或槽。

4.根据权利要求3所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述箱体安装有后盖，所述后盖上安装有电涡流传感器，其安 装位置与所述主轴后端面设置的孔或槽位置相对应。

5.根据权利要求4所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述箱体上分别设有所述前端气体轴承、后端气体轴承、执行 轴气体轴承的进气口及所述涡轮室的进气口。

6.根据权利要求5所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述箱体的后盖上设有所述涡轮室的排气槽。

7.根据权利要求6所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述箱体上分别设有所述前端气体轴承、后端气体轴承、执行 轴气体轴承的排气口。

8.根据权利要求7所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述主轴的一端安装有冒盖，所述冒盖与所述执行轴气体轴承 之间形成一空腔，所述形状记忆合金夹套处于所述空腔中。

9.根据权利要求8所述的超高速精密气动微主轴单元，其特征 在于：所述执行轴与所述执行轴气体轴承之间安装有衬套。

10.根据权利要求9所述的超高速精密气动微主轴单元，其特 征在于：所述微型弹性联轴节上设置有至少一组微切槽，所述每一组 微切槽由两对相互垂直的微切槽组成，所述每一对微切槽垂直于所述 联轴节轴线并对称设置在所述联轴节上；所述联轴节中心设有轴向 孔。