[发明专利]表面活化处理装置

权利要求书

1.一种表面活化处理装置，其用于对基板表面进行活化处理；该表面活化处理装置包括一外壳、一反应装置及一封闭装置；所述外壳包括一内侧壁及一底壁，所述基板固设在所述内侧壁上，所述底壁上开设有一轴孔；所述反应装置一端由一底板封闭且从该底板上垂直延伸出一转轴，该反应装置容置在外壳内且所述转轴从所述轴孔内伸出；该反应装置包括一外筒、一内筒及至少一紫外光灯管，所述外筒和内筒固设于底板上，且内筒容置于外筒内，所述外筒内开设有至少一灯管孔，所述紫外光灯管容置于所述灯管孔内；外筒与内筒之间形成一第一空间，内筒围成一第二空间；所述封闭装置包括封闭第一空间和第二空间且相对外壳转动的盖体，与第一空间相连通的第一进气管及与第二空间相连通的第二进气管；所述外筒的侧壁设置有多个与第一空间连通的第一喷口、与第二空间连通的第二喷口及与紫外光灯管相连通的出光孔。

2.如权利要求1所述的表面活化处理装置，其特征在于：所述内侧壁与底壁形成一容置腔，所述封闭装置还包括一出气管，所述出气管与容置腔相连通。

3.如权利要求1所述的表面活化处理装置，其特征在于：所述外筒包括依次相连的第一侧壁、第二侧壁及第三侧壁；所述第一喷口位于第一侧壁上，所述第二喷口位于第二侧壁上，所述出光孔位于第三侧壁上。

4.如权利要求3所述的表面活化处理装置，其特征在于：所述灯管孔与出光孔相连通，所述紫外光灯管发射的光线从出光孔射出。

5.如权利要求1所述的表面活化处理装置，其特征在于：所述表面活化处理装置还包括一驱动装置，所述驱动装置与所述转轴相连接。

6.如权利要求1所述的表面活化处理装置，其特征在于：所述第一进气管内通入电浆气体，所述第二进气管内通入隋性气体，所述电浆气体在隋性气体的轰击下形成离子电浆。