[发明专利]固态成像装置、电子设备以及固态成像装置的制造方法

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

有源元件，被配置为处理在光接收区中捕获的电荷；

元件隔离区，被配置为隔离所述有源元件的区域；

第一杂质区，被配置为围绕所述元件隔离区；以及

第二杂质区，包括杂质浓度低于所述第一杂质区的杂质区，所述第二杂质区被设置在所述第一杂质区与所述有源元件之间。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中

所述有源元件是晶体管，以及

第三杂质区被设置在所述晶体管中的一个的源极和漏极中的至少一个的周围。

3.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中

所述有源元件中的一个是邻近于被配置为将所述光接收区中捕获的电荷转换为电压的掺杂部的晶体管。

4.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中

所述有源元件是邻近于所述光接收区的晶体管。

5.一种电子设备，包括：

固态成像装置，被配置为根据所接收的光量来输出电信号；以及

信号处理器，被配置为处理从所述固态成像装置输出的所述电信号，所述固态成像装置包括

有源元件，被配置为处理在光接收区中捕获的电荷，元件隔离区，被配置为隔离所述有源元件的区域，

第一杂质区，被配置为围绕所述元件隔离区，以及

第二杂质区，所述第二杂质区包括杂质浓度低于所述第一杂质区的杂质区，所述第二杂质区被设置在所述第一杂质区与所述有源元件之间。

6.一种固态成像装置的制造方法，包括以下步骤：

在有源元件形成区域的周围形成杂质区，并且在所述杂质区内部形成元件隔离区；并且

在所述有源元件形成区域的内部形成具有开口的掩模，并且用杂质对所述有源元件形成区域进行掺杂，以形成有源元件。