[发明专利]一种背表面电介质钝化的太阳电池及其制备方法

权利要求书

1.一种背表面电介质钝化的太阳电池，其特征是：所述太阳电池从太阳光照射面，即前表面起向下排列顺序依次为：减反射层(1)、前电极(2)、n⁺发射极(3)、P型硅区域(4)；太阳电池的非太阳光入射面，即背表面，在P型硅区域4的下面依次为局域背电场P⁺(5)、金属Al电极(6)、电介质钝化膜Al₂O₃(7)；所述背电场P⁺(5)为局域分布(因此称为局域背电场)，所述的背表面的金属Al电极(6)通过局域背电场P⁺(5)与硅接触。

2.制备权利要求1所述的背表面电介质钝化的太阳电池的方法，将用于制作太阳电池的P型硅衬底经过制绒，单面扩散，等离子体刻蚀去边，清洗，前表面沉积减反射层，丝网印刷，然后烧结，其特征是：在硅衬底前表面沉积减反射层之后，在硅衬底的背表面沉积电介质Al₂O₃钝化膜(7)，再激光烧蚀硅衬底的背表面电介质Al₂O₃钝化膜(7)，形成背表面的金属Al电极(6)，然后丝印前后电极，最后烧结成为太阳能电池。

3.按照权利要求2所述的制备方法，其特征是，所述的在硅衬底的背表面沉积电介质Al₂O₃钝化膜(7)的具体工艺步骤如下：

1)将100g异丙醇铝(质量浓度98％)溶解在沸腾的稀释的硝酸溶液中，并且一直搅拌；所述的稀释的硝酸溶液中，水与硝酸的体积比为450∶1；

2)在搅拌的过程中，往步骤1)配制的溶液中加入HNO₃，使溶液的PH值保持在4.5；

3)将步骤2)制得的溶液冷却到室温之后，便获得透明的Al₂O₃凝胶；

4)将所述的Al₂O₃凝胶按照凝胶∶H₂O＝1∶1(体积比)的比例混合，成为旋涂液；

5)将所述的旋涂溶胶液体：首先在2000转/分的低转速下将步骤4)所得的旋涂液涂覆在硅衬底的背表面上，时间维持10s，然后在3500转/分的速度下旋转20s；

6)将步骤5)的制备产物在100-150℃温度下烘烤，烘烤时间不超过1分钟；

7)在350-650℃温度范围下，在氧气氛下进行退火，退火时间在一小时以内，氧流量为1L/min。