[发明专利]紫外激光加工光学传导装置无效
| 申请号： | 201010118079.X | 申请日： | 2010-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101844276A | 公开（公告）日： | 2010-09-29 |
| 发明（设计）人： | 刘红英;赵志伟;张孝其 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B23K26/42 | 分类号： | B23K26/42;G02B7/04 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张贰群 |
| 地址： | 065201 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 紫外 激光 加工 光学 传导 装置 | ||
1.紫外激光加工光学传导装置，其特征在于将激光传输机构与激光与图形识别对准机构集成于一体，并设有激光聚焦位置Z向微调机构；激光传输机构的结构为：激光器(1)输出激光，经激光扩束镜(2)扩束，经聚焦镜(6)聚焦，作用于LED晶片(7)的被加工表面；激光与图形识别对准机构的结构为：工件(7)表面图形经光源镜头(11)、光源(12)光照明，经第3转向镜(5)、第4转向镜(10)图形传输、经聚焦镜(6)图形聚焦，传输于CCD摄像头(8)和(9)，使工件(7)表面图形识别并与激光光斑对准；激光聚焦位置Z向微调机构把聚焦镜(6)固定于能够自动移动的精密滑动台溜板(33)上，使聚焦镜(6)在Z向准确移动并定位。
2.根据权利要求1所述的紫外激光加工光学传导装置，其特征在于在激光扩束镜(2)和聚焦镜(6)间设有第1转向镜(3)、第2转向镜(4)、第3转向镜(5)，其中1个或几个。
3.根据权利要求1所述的紫外激光加工光学传导装置，其特征在于各激光及图形传输镜均装在相应的座体上，并设有相应的定位套。
4.根据权利要求1所述的紫外激光加工光学传导装置，其特征在于所述的激光器(1)的输出激光同轴于扩束镜(2)、聚焦镜(6)，且垂直于工件(7)的被加工表面。
5.根据权利要求1所述的紫外激光加工光学传导装置，其特征在于所述的激光聚焦位置Z向微调机构的结构为：聚焦镜(6)固定在溜板(33)上，溜板(33)与导轨滑块(35)相连，导轨(36)与导轨底座(32)，导轨(36)和导轨滑块(35)滑动配合，步进电机(31)与滚珠丝杠(34)相连，滚珠丝杠与溜板(33)相连，聚焦镜(6)和第5定位套(22)相连。
6.根据权利要求1、2、3、4或5所述紫外激光加工光学传导装置，其特征在于所述的激光器(1)为可输出355纳米紫外激光的激光器，经聚焦镜(6)聚焦后，产生高能量密度的微米级激光光斑。
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